利用RGA残余气体分析仪进行真空过程气体表征

利用Hiden RGA残余气体分析仪可以进行各种真空状态下的残余气体分析和过程工艺监测可以实时在线得到实验过程的真实情况，即使反馈处理过程中出现的问题在等离子体工艺过程中，更是可以有效地表征等离子体产生的过程 残余气体分析仪（四极质谱仪）