椭偏光谱仪在TFT－LCD显示器中的应用

椭偏仪是一种无损的薄膜表征方法，它可针对单层或多层光学薄膜给出膜厚折射率消光系数甚至材料的带隙等丰富信息并可表征膜中的各向异性渐变孔隙率等各种不均匀性本文中，使用椭偏仪表征了TFT-LCD显示器件中透明电极液晶及a-Si各膜层分析了透明电极中的渐变层液晶的各向异性及a-Si的n型掺杂 智能型多功能椭偏仪Smart SE