高温老化试验箱在半导体器件老化筛选的应用方案

一、目的

二、试验设备

1. 高温老化试验箱：具备精确的温度控制、良好的温度均匀性和稳定性，能够满足半导体器件老化所需的高温条件。

2. 测试仪器：如示波器、电源、多用表等，用于在老化前后对半导体器件进行电性能测试。

三、试验样品

四、试验条件

1. 温度设置：根据半导体器件的规格和应用要求，设置合适的老化温度，通常在 125℃至 150℃之间。

2. 时间设定：老化时间一般为 96 小时至 168 小时。

3. 环境湿度：相对湿度控制在 5%至 20%之间。

五、试验步骤

1. 试验前准备

• 对试验样品进行初始电性能测试，记录相关参数，如导通电压、截止电流、放大倍数等。

• 将试验样品正确安装在老化试验箱的专用夹具上，确保良好的电气连接和热传导。

2. 老化试验

• 按照设定的温度、湿度和时间条件启动高温老化试验箱。

• 在老化过程中，定期（如每 24 小时）检查试验箱的运行状态和样品的工作情况。

3. 试验后检测

• 老化结束后，将试验样品从试验箱中取出，在室温环境下放置 2 小时以上，使其恢复至常温。

• 再次对试验样品进行电性能测试，与初始测试数据进行对比，分析性能变化。

六、结果评估

1. 根据测试数据，判断半导体器件的性能是否在老化后仍满足规定的技术指标。

2. 统计失效样品的数量和类型，计算老化筛选的失效率。

3. 分析失效原因，为改进生产工艺和提高产品质量提供依据。

七、注意事项

1. 操作人员应熟悉试验设备的操作方法和安全注意事项。

2. 试验过程中应确保试验箱的通风良好，防止因过热导致设备故障或安全事故。

3. 对试验数据进行严格记录和管理，以便后续分析和追溯。