国产AI背后的“微观守护者”：泽攸科技ZEM系列台式扫描电镜

深圳市富田区最近正式任命了70名“AI公务员”。这标志着政府部门进入了“硅基同事”与人合作的新时代。这项改革基于DeepSeek 2.0模型，将240个政府场景分解为标准化模块，并在专用混合架构中实现“跨”式智能组合。正式文件格式更正准确率95%以上，各部门分工效率80%以上。然而这场“静悄悄的革命”背后，是百亿级晶体管密度的AI芯片在支撑——几纳米工艺的芯片上，会导致系统崩溃，传统光学显微镜已经成为视力受损地区致命的涡轮。

当人工智能公务员以仅为人力成本五十分之一的成本不间断地持续工作时，其基础底层硬件的可靠性直接关系到政策传导是否会出现“梗阻”，以及民生诉求的分派是否会陷入“数据茧房”。例如，龙岗区借助人工智能实现了从23万路监控视频中“秒级寻人”。如果其依赖的核心视觉处理芯片的金属互联层存在孔洞，就可能导致关键帧丢失。福田区的“执法文书生成助手”的秒级响应，更是需要纳米级精度的晶体管阵列来保障其稳定性。 

这些挑战，将AI的竞争从算法层面推向了硬件微观世界的战场！

泽攸科技ZEM系列台式扫描电镜具备自主创新的电子光学系统设计，可对AI芯片实现关键分析。

晶体管阵列的三维成像：借助背散射电子探测器（BSE），能够清晰呈现鳍式场效应晶体管（FinFET）或环绕栅极晶体管（GAA）的立体结构，并定位诸如栅极氧化层厚度不均匀以及沟道界面缺陷等工艺问题。 

金属互连层的缺陷检测：利用二次电子成像（SE）技术，可以识别铜互连线路中的孔洞和电迁移痕迹，从而降低因电流密度过高而导致电路断路的风险。 

材料成分的精确分析：通过结合能谱仪（EDS），能够快速定位芯片中重金属（如铁、镍颗粒）污染的位置，并追溯到硅晶圆制造过程中的工艺污染源。 

此外，ZEM系列台式扫描电镜的台式化设计与环境强适应性，使其可直接部署于芯片封装产线。

空间革命

其体积仅为传统设备的20%，并且可以在百级洁净车间之外的普通实验室，甚至是在移动检测车内运行。 

效率跃升

超快速抽真空，一键式自动化操作，能够在一天内完成对大量芯片样品的缺陷检测。 

动态分析

例如，可以选择配备一个原位加热台，以便实时观察芯片在高负载运行条件下的热膨胀变形情况，并预测其在长期使用中的可靠性。 

这种“检测-反馈-工艺优化”的闭环模式，能够大幅降低人工智能芯片供应商在产品出厂时的缺陷率。此外，泽攸科技“阶梯式”的技术布局，不仅满足了顶尖实验室对*致性能的追求，还为人工智能芯片供应商提供了高性价比的选择。由此，真正实现了检测能力的“全链条覆盖”。 

ZEM Ultra：搭载场发射电子枪，适用于高精度研究ZEM Pro：配备单晶灯丝，兼具长寿命与高亮度特性，完美平衡科研与工业检测需求ZEM20/ZEM18/ZEM15C：采用经典钨灯丝设计，为常规检测提供高性价比解决方案

芯片各部位部分表征图

从“实验室巨兽”到“桌面英雄”，泽攸科技的ZEM系列台式扫描电子显微镜正越来越深入地融入国产高端仪器的技术核心，并且以纳米级精度守护着人工智能系统的“中国芯”。当微观世界中不可见的缺陷被精确捕捉时，宏观世界的数字化转型就多了一份坚实的保障！ 

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