使用配备固体自动进样器的 Agilent Cary 7000全能型分光光度计 (UMS) 进行涂层晶圆分析

配备固体进样器的 Agilent Cary 7000 UMS 已成功用于薄膜基底的大样品表征。自动进样器以空间映射模式运行，适用于 ZTO 研究。通过采集透射光谱，将 ZTO 基底的带隙能量映射在晶圆的整个直径范围上。数据显示出一些差异，例如晶圆顶部由沉积过程造成了ZG的 Zn 浓度，因而频率较低。

在寻找昂贵基底（如氧化铟锡 (ITO)）的合适替代品时，可以使用这一方法来表征光学带隙能量相近的材料。

Cary 7000 UMS 和固体进样器有望成为用于光学材料、涂层以及工业和实验室各种应用中组分表征的重要工具。