
- 2025-01-10 10:50:00浆料含固量测试仪
- 浆料含固量测试仪是一种专业设备,用于快速准确地测量浆料中的固体含量。它通过特定的测量原理,如射频、红外或电容等方式,对浆料进行非接触式或接触式的检测,无需复杂预处理。该仪器广泛应用于造纸、化工、涂料、食品等行业,帮助用户监控生产过程,确保产品质量。操作简便,数据准确可靠,且通常配备有直观的数据显示和记录功能,便于用户进行分析和追踪。
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浆料含固量测试仪问答
- 2023-06-29 10:32:01二氧化铈 CMP 浆料监测
- 全文共 1490 字,阅读大约需要 5 分钟化学机械抛光/平坦化 (CMP) 是微电子行业广泛使用的一种工艺,通过化学力和机械力来进行平坦化处理。该工艺使用磨料和腐蚀性浆料来帮助平坦化晶圆表面。浆料的粒度分布是控制平坦化工艺成功的关键参数。氧化铈 (ceria) 的浆料广泛地应用于集成电路 (IC) 制造的各种 CMP工艺中,本应用说明记录了 AccuSizer® Mini FX 准确测量二氧化铈 CMP 浆料的平均粒径和浓度,并检查是否存在尾端大粒子的实际案例。1、简介CMP 工艺和 CMP 浆料广泛用于微电路制造过程中的抛光流程,CMP 浆料的性能对于提高设备产量至关重要,需要定期测量浆料的粒度分布 (PSD)。除测量平均粒径之外,还应对尾端大颗粒的存在(即远离主峰的较大颗粒的浓度)进行测量。这些尾端可能来自工艺过程中的污染物,由于化学变化、CMP 输送系统或施加的剪切力而导致的聚集。晶圆中缺陷与划痕的数目与尾端大颗粒计数 (LPC) >0.5-1 μm 有关,理想的表征系统应提供准确的 LPC 值。2、颗粒粒径/计数技术有许多颗粒表征技术可用于测量 CMP 浆料中颗粒的粒径分布。包括动态光散射 (DLS) 和激光衍射在内的光散射技术可以测量粒径大小和粒径分布,但不能提供任何有用的浓度信息。单颗粒光学技术 (SPOS) 在颗粒通过狭窄的测量室时一次测量一个颗粒,从而提供准确的粒径和浓度(颗粒/mL)结果。SPOS 本质上是一种高分辨率的技术,能够检测从偏离主峰的尾端大粒子分布。它常用来检测尾端大粒子浓度和数量,而 LPC 是 CMP 浆料造成晶圆缺陷和划痕的主要原因。AccuSizer ® Mini可以在实验室中使用,也可以在线点对点使用。3、ACCUSIZER MINI AccuSizer 多年来一直被 CMP 浆料制造商和最 终用户用来检测尾端大颗粒是否存在,根据浆料的不同,可以选择直接进行测量,也可以通过自动稀释来优化分析条件。上图所示的 AccuSizer Mini FX 系统设计用于检测较小尾端大颗粒和高浓度样品。FX 传感器使用聚焦光束来减少检测的总体积,从而提高传感器的浓度限制,通常无需稀释即可进行测量。FX 传感器可测量 0.65–20 μm 的颗粒,其浓度比标准消光/遮光或散射传感器高 200 倍。结果最多可以显示在 512 个大小的通道中。AccuSizer Mini系统是完全自动化的,专为满足生产线的要求而设计。内置的触摸屏电脑控制着操作。用户连接化学机械抛光液的旁路、过滤后的去离子水(如有必要,用于清洗和稀释)、50兆帕的空气管路以控制气动,以及排泄管路。4、使用的样品本研究使用了两个二氧化铈样品;二氧化铈 A 具有较小的尾端大颗粒,二氧化铈B具有较大的尾端大颗粒。5、结果对二氧化铈 A 进行了四次分析,以确定基础样品中颗粒的尺寸分布和浓度。四次分析的结果如图 1 所示(浓度为线性标度)和图 2(浓度为对数标度)。图 1. 二氧化铈 A浓度,线性标度图 2. 二氧化铈 A,对数标度接下来,二氧化铈A 中掺入约 1000000 颗粒/mL 的 1.36μm 聚苯乙烯乳胶 (PSL) 标准颗粒,以证明检测大颗粒的能力。结果如图 3 和图 4 所示。图 3. 二氧化铈A(红色)+ 1.36 μm PSL 尖峰(黑色)图 4. 与图 3 相同,但 y 轴扩展 8 倍然后,在二氧化铈 A 中掺入 1%(图 5)和 10%(图 6)的二氧化铈 B,后者含有较长尾端大颗粒。图 5 和图 6 中的结果显示了 AccuSizer 对尾端大颗粒的敏感性以及良好的重复性。图 5. 二氧化铈 A 添加了 1% 二氧化铈B图 6. 二氧化铈A 添加了 10% 二氧化铈 B6、结论这些结果证实 AccuSizer Mini FX 是一种准确、易于使用的分析工具,可检测低浓度 LPC 颗粒的存在。该系统可在实验室或工厂中使用。Mini FX 分析仪可以位于流程中的任何位置,通常放置在最 终过滤器之后,在浆料与抛光工具中的晶片接触之前进行监测,如图7所示。图 7. 晶圆加工过程中的 AccuSizer Mini
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- 2020-12-01 15:43:30MH3041B型 烟气采样/含湿量测试仪
- 1、集含湿量、流速、烟温、动静压检测于一体2、阻容法原理,适用于0℃-180℃烟道环境3、支持50000组数据海量存储4、4.3寸高清真彩屏,引领大屏时代5、兼容二路烟气采样
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- 2022-08-24 11:55:42低场核磁技术研究浆料小颗粒团聚
- 低场核磁技术研究浆料小颗粒团聚浆料小颗粒团聚可分为三种状态:凝聚体:指以面相接的原级粒子,其表面积比其单个粒子组成之和小得多,这种状态再分散十分困难。附聚体:指以点、角相接的原级粒子团族或小颗粒在大颗粒上的附着,其总表面积比凝聚体大,但小于单个粒子组成之和,再分散比较容易。凝聚体和附聚体也称二次粒子。絮凝:指由于体系表面积的增加、表面能增大,为了降低表面能而生成的更加松散的结构。一般是由于大分子表面活性剂或水溶性高分子的架桥作用,把颗粒串联成结构松散似棉絮的团状物。在这种结构中,离子间的距离比凝聚体或附聚体大得多。颗粒在液体中的团聚与分散颗粒表面湿润性对粉体的分散具有重要意义,是粉体分散、固液分离、表面改性和造粒等工艺的理论基础。固体颗粒被液体润湿的过程主要基于颗粒表面的润湿性。固体表面的湿润性由其化学组成和微观结构决定。固体表面自由能越大,越容易被液体湿润;反之亦然。因而,寻求和制备高表面自由能的固体表面成为制备超亲水表面和超疏水表面的前提条件。低场核磁技术研究浆料小颗粒团聚的基本原理:对于润湿的颗粒体系,颗粒表面会附着一层液相分子,这些液相分子因无机相表面的吸附作用而运动受限。但未与颗粒相接触的液相分子运动是自由的,液相分子的驰豫时间(relaxation time)与它所处的运动状态密切相关,自由状态的液相分子的核磁驰豫时间要比束缚状态的液相分子的驰豫时间长得多,颗粒分散性更好的体系吸附溶剂量相对更多,弛豫时间也就更短。因此,可以利用低场核磁共振技术来测量悬浮液体系的驰豫时间,并计算颗粒的湿润比表面积(可利用的吸附表面积),进而用来研究颗粒的团聚状态、分散性稳定性、亲和性以及润湿性等问题。
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- 2021-04-29 11:47:57密封性测试仪取样量是什么?
- 密封性测试仪取样量是什么?
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- 2025-01-21 12:00:13量热仪多少钱
- 量热仪多少钱:价格分析与选购指南 量热仪是一种用于测量物质热量的精密仪器,广泛应用于实验室、科研机构、化工生产等多个领域。随着科技的不断进步,量热仪的技术与功能也在不断提升。很多消费者在购买量热仪时,关心的问题之一便是价格。量热仪到底多少钱?价格受哪些因素影响?在本文中,我们将对量热仪的价格进行详细分析,并为您提供选购量热仪的专业建议。 量热仪的价格范围 量热仪的价格因其技术、品牌、功能及测量精度等因素而异。一般来说,普通实验室型量热仪的价格区间在几千元至几万元不等。具体价格受以下因素影响: 技术规格与测量范围 量热仪的价格通常与其技术规格直接相关。例如,低功率的小型量热仪价格较为实惠,通常在几千元到一万元之间;而高功率的量热仪,尤其是那些具有多功能、高精度测量的设备,价格可能达到数万元甚至更高。 品牌与制造商 品牌在量热仪的定价中起着重要作用。知名品牌往往代表着更高的品质和更稳定的性能,这类品牌的量热仪价格通常较高。而一些新兴品牌或小众品牌则可能提供相对经济实惠的选择,但在售后服务和质量保障上可能存在一定差异。 功能与附加选项 量热仪的附加功能也会影响其价格。例如,具有自动化功能、数据传输功能、或能支持更复杂实验的量热仪,其价格会高于普通单一功能型设备。 如何选择合适的量热仪 在了解了量热仪的大致价格区间后,选购时还需根据实际需求进行合理选择。以下是几个选购时需要考虑的因素: 使用场景:不同的实验环境需要不同类型的量热仪。例如,如果您只是在常规的实验室中进行一些基础测量,选择一款中低端量热仪就能满足需求。而对于高精度的科研实验,则需要选择高端型号。 预算:量热仪的价格差异较大,因此在购买前需明确预算范围。确保在预算内选择一款性能与价格平衡的产品。 售后服务与保障:好的售后服务对于长期使用量热仪至关重要。购买时,选择那些提供完善服务和技术支持的品牌会为您带来更好的使用体验。 结论 量热仪的价格并没有固定标准,其市场售价会根据品牌、功能、技术规格等因素有所差异。了解这些因素后,您可以根据自身的需求和预算选择合适的产品。无论是基础型实验室使用还是高精度的科研需求,选择合适的量热仪将确保实验数据的准确性与可靠性。因此,建议在选购时,除了考虑价格外,还要特别注重产品的性能、稳定性以及品牌的信誉度,确保投资获得大的回报。
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