氦质谱检漏仪 - 产品信息 - 相关知识

2025-10-18 15:49:00氦质谱检漏仪: 氦质谱检漏仪是一种高灵敏度的检漏设备，它利用氦气作为示踪气体来检测密封容器或系统中的微小泄漏。该设备由两部分组成：质谱分析仪和氦气检测器。

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氦质谱检漏仪资讯

预算68万元中国科学院高能物理研究所采购氦质谱检漏仪

中国科学院高能物理研究所氦质谱检漏仪采购项目招标项目的潜在投标人应在www.oitccas.com获取招标文件，并于2025年11月04日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。

ABC123 82
2025-10-13
氦质谱检漏仪
广东省“质量监督低温绝热气瓶检验站”正式落户东莞市

验检测能力覆盖焊接绝热气瓶、汽车用液化天然气气瓶及其无损检测、理化试验等，检验项目(参数)共26大项(71小项)。

843
2020-09-13
低温绝热气瓶抽真空机组氦质谱检漏仪气密试验台红外热成像仪
【超钜微检】氮氢检漏仪与氦质谱检漏仪有什么不同？关键看检漏精度、成本高低比较

 杭州超钜科技有限公司 470
2019-08-09
中科科仪ZQJ-530G型干式氦质谱检漏仪等多款新产品近日推向市场

 北京中科科仪股份有限公司 1704
2012-10-17

氦质谱检漏仪文章

氦质谱检漏仪技术指导

该仪器的主要功能是通过氦气作为标气，利用质谱分析技术对设备、管道等进行气体泄漏检测。其精度高、速度快、操作简便，特别适用于电子、制冷、航空航天等行业中精密设备的漏气检测。本文将就氦质谱检漏仪的基本原理、技术特点以及在实际应用中的使用技巧进行详细的指导，帮助用户更好地理解和掌握这一先进技术。

天行者 63
2025-04-21
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪适用高温吗

随着工业生产环境的复杂化，尤其是在高温操作条件下，如何确保氦质谱检漏仪能在这些极端环境下正常运行，成为许多企业关注的焦点。本文将探讨氦质谱检漏仪在高温环境下的适用性，分析其工作原理与高温条件下的性能表现，并给出相关建议。

袁绍华 65
2025-04-21
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪灯丝的秘密：了解作用与使用教程

而在这一系列复杂的检测过程中，灯丝扮演着至关重要的角色。灯丝是氦质谱检漏仪中的一个关键组成部分，直接关系到检漏仪的灵敏度、稳定性以及使用寿命。本文将详细探讨氦质谱检漏仪中灯丝的作用，以及它如何影响气体泄漏检测的效果。

林荫 105
2025-04-21
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪使用教程简明指南：掌握高效操作技巧

它主要通过氦气对待检物体进行渗漏测试，从而帮助检测出微小的气体泄漏。此仪器凭借其极高的灵敏度和可靠性，成为了气密性检测、真空系统泄漏检测以及各种压力容器密封性能测试的重要工具。本文将为您详细介绍氦质谱检漏仪的使用方法，帮助您更高效、更准确地进行气密性测试。

谣言梦呓 163
2025-04-21
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪波纹管检漏

 伯东企业（上海）有限公司 99
2023-10-19

氦质谱检漏仪产品

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: 氦质谱检漏仪; 国内四川; ￥50000; 成都仪器厂
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氦质谱检漏仪问答

2025-04-21 12:45:20氦质谱检漏仪的检漏方法有哪些？: 氦质谱检漏仪作为高精度气体泄漏检测的核心设备，凭借其卓越的灵敏度和可靠性，广泛应用于航空航天、电子制造、能源动力等领域。其核心原理基于质谱学技术，通过氦气示踪与离子分离机制实现微小漏点的精准定位。本文将从工作原理、检漏方法、操作流程、应用场景及维护要点等多维度，系统解析该技术的科学内涵与工程实践价值。氦质谱检漏仪的核心工作原理涉及离子化与磁场分离过程。灯丝发射的电子在电离室内与氦气碰撞，生成带正电的氦离子。这些离子在加速电场作用下进入均匀磁场，由于洛伦兹力作用，不同质荷比的离子沿不同半径的圆弧轨迹运动。通过调节加速电压，仅氦离子能通过出口狭缝到达收集器，形成可检测的离子流信号。逆扩散检漏技术进一步优化了检测条件，利用分子泵对不同气体的压缩比差异，使氦气逆流进入质谱室，显著提升高压容器检漏效率并延长灯丝寿命。在具体检漏方法中，吸枪法、钟罩法和背压法构成三大主流技术。吸枪法通过移动式探头采集泄漏氦气，适用于复杂结构的局部检测；钟罩法则通过密封罩覆盖被测件，测量整体漏率；背压法则对预充氦气的工件进行真空抽吸，适用于微型器件的批量检测。操作流程通常包括设备连接、真空建立、氦气喷施及信号分析四个阶段。以SFJ-231型仪器为例，其标准化流程涵盖粗真空预抽（2000-200Pa）、中真空精抽（200-40Pa）和精检模式切换，配合阀门系统实现不同灵敏度档位的无缝转换。技术性能方面，现代氦质谱检漏仪的灵敏度可达10-13 Pa·m³/s量级，检测范围横跨10-2至10-13 Pa·m³/s，响应时间小于0.3秒。这种卓越性能使其在航空航天发动机密封检测、半导体封装气密性验证、核反应堆压力容器监控等场景中不可替代。例如，在火箭箭体检测中，氦罩法与累积法的结合使检漏灵敏度提升三个数量级，有效预防推进剂泄漏事故。设备维护保养是保障长期稳定运行的关键。日常维护需重点关注机械泵油位监测（每500小时更换）、分子泵轴承润滑（年度保养）、质谱室污染清洁（视使用频率）等环节。校准环节强调标准漏孔的应用，通过定期对比实测值与理论值，确保检测精度偏差小于5%。此外，氦气供给系统的密封性检查与过滤器更换，可有效避免交叉污染导致的误报。相较于传统检漏技术，氦质谱法的优势显著。气泡法灵敏度仅达10-5 Pa·m³/s，而压力衰减法受温度波动影响严重。红外与超声波检漏虽具非接触优势，但无法识别微小漏点及混合气体泄漏。氦质谱技术独有的选择性识别能力，使其在10-12 Pa·m³/s级检测中保持>95%的准确率，且不受背景气体干扰，这在多组分工业环境中尤为重要。随着智能制造升级，氦质谱检漏技术正向智能化、集成化方向发展。自动氦峰扫描、多通道并行检测、物联网数据互联等创新功能，正推动该技术从单一检测工具向智能制造质量控制节点演变。在新能源电池包密封检测、氢燃料电池堆泄漏监测等新兴领域，其技术优势将持续释放产业价值。

2025-04-21 12:45:20氦质谱检漏仪在半导体设备的运用主要是什么？: 随着半导体制造工艺向更精密化、集成化方向发展，设备气密性检测已成为保障芯片良率与可靠性的核心环节。氦质谱检漏仪凭借其超高灵敏度和精准定位能力，正成为半导体行业不可或缺的质量守护者。本文将从技术原理、应用场景、经济效益等维度，深度解析该技术在半导体领域的革新价值。一、技术原理：磁场中的离子轨迹解码微观泄漏氦质谱检漏仪基于质谱学原理，通过电离室将氦气分子电离为带正电的氦离子，利用磁场中不同质荷比离子的偏转半径差异实现精准分离。当加速电压与磁场强度固定时，特定质量的氦离子将沿预定轨道抵达接收极，形成可量化信号。采用逆扩散检漏技术时，氦气分子可逆着分子泵气流方向进入质谱室，在避免电离室污染的同时实现10-12 Pa·m³/s量级的极限检测灵敏度。相较于传统水检法或压差法，该技术检测精度提升百万倍，且具备无损检测特性。二、半导体设备的极致密封要求半导体制造装备对气密性的要求近乎苛刻：内衬部件需承受1.33×10-8 Pa的超高真空，加热器在200℃高温下的氦测漏率需低于5×10-6 mbar·L/s，而晶圆反应腔体的静态泄漏率必须控制在0.001 ml/min以下。任何微米级泄漏都将导致真空失效、工艺气体污染或晶圆特性劣化。例如，极紫外光刻机的光学系统若存在10-9 Pa·m³/s的泄漏，就会造成镜面污染和光路散射，直接导致芯片良率下降30%以上。三、全产业链渗透：从晶圆制造到封装测试在晶圆制造环节，该技术应用于磁控溅射设备、等离子刻蚀机（ICP/PECVD）等关键设备。某12英寸晶圆厂的离子注入机采用ASM 390检漏仪后，将真空腔体泄漏排查时间从72小时缩短至4小时，设备稼动率提升15%。在封装测试阶段，TO封装器件的氦检漏率需低于1×10-8 Pa·m³/s，通过真空箱法可实现每小时3000颗芯片的全自动检测。典型案例显示，某头部封测企业引入ZQJ-2300系统后，封装不良率从500ppm降至50ppm，年节约返修成本超2000万元。四、经济效益与行业变革据QYResearch数据，中国半导体用氦质谱检漏仪市场规模在2023年突破8.7亿元，年复合增长率达19.3%。设备制造商通过精准检漏可将工艺气体损耗降低40%，同时避免因泄漏导致的设备宕机损失。以5纳米制程产线为例，单台光刻机年度检漏维护成本约120万元，但泄漏事故导致的停产损失高达5000万元/日。行业测算表明，每投入1元检漏设备成本，可产生8.3元的综合效益。五、技术演进：智能化与系统集成新一代设备正融合AI算法与物联网技术，如皖仪科技的iLeak云平台可实现多台检漏仪数据联动分析，泄漏定位精度提升至0.1mm级。Pfeiffer推出的ASM 560系列集成机器学习模块，可自动识别虚警信号，使误报率从5%降至0.3%。行业专家预测，2026年后具备自诊断功能的智能检漏系统将覆盖80%的12英寸晶圆产线。随着3D封装、碳化硅功率器件等新技术普及，氦质谱检漏技术将持续突破物理极限。国内外厂商竞相研发基于量子传感器的第三代检漏仪，目标在2030年前实现10-15 Pa·m³/s的分子级泄漏检测，为半导体制造构筑更坚固的质量防线。

2021-08-05 15:58:59氦质谱检漏仪 ASM340 用于 LNG 储罐检漏: 某公司采用伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 对 LNG 低温储罐检漏, 其罐体焊缝采用自动焊, 单条焊缝的漏率不高于 1×10-9 Pa.m3/s, 整台容器的漏率不高于 1×10-8Pa.m3/s. 氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:型号ASM340ASM340 DASM340 I对氦气的最小检检漏率5E-13 Pa m3/s5E-13 Pa m3/s5E-13 Pa m3/s检测模式真空模式和吸枪/模式真空模式和吸枪/模式真空模式和吸枪/模式检测气体4He, 3He, H24He, 3He, H24He, 3He, H2启动时间 min333对氦气的抽气速度 l/s2.52.52.5进气口最/大压力 hPa25255前级泵抽速 m3/h油泵 15隔膜泵 3.4不含前级泵重量 kg564532 氦质谱检漏仪 ASM340 优点:1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检检漏率：真空模式：5E-13 Pa m3/s 吸枪/模式：5E-10 Pa m3/s 目前业界公认最小漏率4. 移动式操作面板（有线、无线）5. 集成SD卡, 方便资料处理6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性7. 丰富的可选配件, 如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等8. 检测时间短 LNG 储罐需要检漏原因:LNG 低温储罐是 LNG 储存运输过程中核心设备, 进行 LNG 运输时, 要考虑低温液体的绝热要求, 采用合理的绝热保护措施. 因为冷藏的 LNG 一旦发生泄露, 其气化量约为液态下的 600倍, 在空气中形成自动引爆的气团, 非常危险.因此储罐容器的内胆, 外壳, 焊点, 阀门等部位都需要进行泄漏测试, 只有经过检漏的储罐才能作为合格, 放心的储存气体的载体, 如果客户储罐容量较大, 还需要外接真空泵组辅助检漏仪进行测试.气体运输过程中的运输储罐, 槽罐车载体等同样需要进行氦质谱检漏才能上路运输. 若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :上海伯东 : 罗先生台湾伯东 : 王小姐T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw伯东版权所有, 翻拷必究!

2021-08-05 16:00:27伯东氦质谱检漏仪 ASM340 用于波纹管检漏: 某不锈钢软管生产企业采用伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 对波纹管进行检漏. 其生产的波纹管广泛用于石化, 冶炼, 航空航天, 建筑,电力, 供热管道, 机械制造等行业. 氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:型号ASM340ASM340 DASM340 I对氦气的最小检检漏率5E-13 Pa m3/s5E-13 Pa m3/s5E-13 Pa m3/s检测模式真空模式和吸枪/模式真空模式和吸枪/模式真空模式和吸枪/模式检测气体4He, 3He, H24He, 3He, H24He, 3He, H2启动时间 min333对氦气的抽气速度 l/s2.52.52.5进气口最/大压力 hPa25255前级泵抽速 m3/h油泵 15隔膜泵 3.4不含前级泵重量 kg564532 氦质谱检漏仪 ASM340 优点:1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检检漏率：真空模式：5E-13 Pa m3/s 吸枪/模式：5E-10 Pa m3/s 目前业界公认最小漏率4. 移动式操作面板（有线、无线）5. 集成SD卡, 方便资料处理6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性7. 丰富的可选配件, 如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等8. 检测时间短待检漏产品: 定制超长波纹管焊接波纹管检漏原因:波纹管通常通过激光焊接连接至法兰或外壳. 激光焊接会产生光性均匀焊缝, 通过肉眼无法判断是否存在泄漏, 焊接波纹管对气密性的要求很高, 传统的泄漏测试, 如染料渗透测试, 制冷剂嗅探或气泡测试不能达到客户工业生产的要求, 因此需要引入氦质谱检漏仪进行泄漏检测. 若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :上海伯东 : 罗先生台湾伯东 : 王小姐T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw伯东版权所有, 翻拷必究!

2021-03-04 16:18:50伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 用于锂电池检漏: 国内著名激光焊接供应商-某新能源行业领军企业采用伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 用于锂电池检漏系统, 对锂电池外壳进行检漏. 氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:型号ASM340ASM340 DASM340 I对氦气的最小检检漏率5E-13 Pa m3/s5E-13 Pa m3/s5E-13 Pa m3/s检测模式真空模式和吸qiang模式真空模式和吸qiang模式真空模式和吸qiang模式检测气体4He, 3He, H24He, 3He, H24He, 3He, H2启动时间 min333对氦气的抽气速度 l/s2.52.52.5进气口压力 hPa25255前级泵抽速 m3/h油泵 15隔膜泵 3.4不含前级泵重量 kg564532 氦质谱检漏仪 ASM 340 优点:1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检检漏率：真空模式：5E-13 Pa m3/s 吸qiang模式：5E-10 Pa m3/s 目前业界公认最小漏率4. 移动式操作面板（有线、无线）5. 集成SD卡, 方便资料处理6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性7. 丰富的可选配件, 如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等8. 检测时间短客户现场使用图: 锂电池需要检漏原因:一般的锂离子电池单元由一个正极, 一个负极和一个隔膜以及电解质构成. 这些单元在包装内排列. 由于锂金属的化学特性非常活泼, 使得锂金属的加工, 保存, 使用对环境要求非常高. 锂电池主要是外壳焊接处需要检漏, 如果锂电池里面的电解液因为外壳的不密封性而泄露出来可与潮湿环境产生剧烈反应, 不仅对环境和人员造成严重的危害, 同时影响设备使用寿命, 所以锂电池在组装和密封 ( 圆柱形及棱柱形单元通过焊接）环节, 需要进行泄漏测试.