2025-01-10 17:03:03光栅耦合干涉 (GCI) 技术
光栅耦合干涉(GCI)技术是一种高精度的光学测量技术。它利用光栅的衍射效应与干涉原理相结合,实现对物体表面形貌、薄膜厚度及折射率等参数的精确测量。GCI技术具有非接触、高分辨率及快速测量等特点,广泛应用于半导体制造、光学元件检测及材料科学研究等领域。该技术能够提供准确的测量结果,有助于提升产品质量和科研水平。

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