- 2025-01-10 17:05:18微纳机电系统
- 微纳机电系统(MEMS)是集微型机械结构、传感器、执行器及电子控制于一体的系统。它主要由微型传感器、执行器及电子接口等组成,能够实现信息的获取、处理及执行。微纳机电系统广泛应用于汽车电子、消费电子、生物医疗及航空航天等领域,具有体积小、功耗低、集成度高及性能稳定等技术优势。在微纳技术、电子工程和精密制造中发挥着重要作用。
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微纳机电系统问答
- 2023-02-05 09:13:27纳克微束祝您元宵节快乐!
- 万家灯火,欢乐元宵!纳克微束祝大家好梦皆圆!
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- 2023-02-01 14:56:12蔡司激光共聚焦显微镜-微纳器件的表征分析
- 对微纳器件进行表征时,常关注的便是器件的表面形貌和三维尺寸信息,比如粗糙度、深度、体积等,这些都是评价微纳加工工艺的重要指标。然而,在进行表面三维的分析工作中,我们可能常遇到这样的苦恼: 光学明场无法直接定位到亚微米级缺陷结构! 样品结构太复杂,微弱信号无法捕获,难以准确测量尺度信息! 三维接触式测量经常会损伤柔软样品,导致测试结果不准确! 今天,友硕小编将从下面几个角度来看看蔡司激光共聚焦显微镜如何帮助你更好地解决这些问题。 失效分析:多尺度多维度原位分析! 器件表面往往存在一些特殊的结构或缺陷,比如亚微米尺度的划痕,这些特征难以在光学明场下被直接观察到。C-DIC(圆微分干涉)观察模式可以让样品表面亚微米尺度的微小起伏都可以呈现出浮雕效果,帮助我们快速定位并开展下一步的分析工作。 ▲ 不同观察方式下晶圆表面缺陷 在定位到感兴趣区域后,可以直接切换到共聚焦模式,进行表面三维形貌扫描,并进行尺寸测量及分析,无需转移样品即可完成样品多尺度多维度的表征。 ▲共聚焦三维图像及深度测量 对于某些样品,暗场和荧光模式也是一种很好定位方法,表面起伏的结构在暗场下尤其明显,如蓝宝石这类能发荧光的晶圆,利用荧光成像也能帮助我们快速地定位到失效结构。甚至,共聚焦还可以和电镜或者双束电镜(FIB)(点击查看)实现原位关联,在共聚焦显微镜下进行定位后转移样品到电镜下进行更高分辨的表征分析。 深硅刻蚀:结构深,信号弱,蔡司激光共聚焦显微镜有办法! 深硅刻蚀的样品通常为窄而深的沟壑结构。接触式测量(如台阶仪)无法接触到沟壑底部测得信息,而由于结构特殊造成了反射光信号损失,常规白光干涉或者显微明场无法捕获底面的微弱信号。因此,不得不对样品进行裂片分析,这不仅破坏了样品,而且还使分析流程复杂化。 西湖大学张先锋老师用蔡司激光共聚焦显微镜对深163.905 μm,宽3.734μm的刻蚀坑进行成像,高灵敏探测器、大功率激光及Z Brightness Correction技术可以帮助成功检测到底部的微弱信号,完成大深宽比(近50:1)样品的三维形貌表征与测量,轻松实现无损检测分析。
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- 2023-06-08 17:52:34邀请函|飞纳电镜邀您参加微纳科技与先进材料创新大会 2023
- 复纳INVITATION微纳科技与先进材料创新大会(2023)将于 6 月 10 日 - 12 日在重庆举办。本次会议旨在凝聚优势力量、加强纳米科学与微纳制造技术的基础研究与应用研究,促进多学科交叉融合,促进先进材料产业化的发展。时间:2023 年 6 月 10 日 - 12 日地点:重庆两江云顶大酒店复纳科技展位号:7 号新兴的微纳材料在电子、通信和物联网、能源存储、化工和燃料生产、医疗保健、药物输送等领域应用广泛。纳米材料的性质与其组成和表面形貌有很大的关系,复纳科技拥有一系列高精尖的分析检测仪器与先进的解决方案,可以对纳米材料进行分析表征和改性。欢迎各位老师同行莅临【7】号展位,和我们一起探讨交流!庄思濛 复纳科技产品经理报告时间:6月12日 16:05-16:25本次会议中,复纳科技产品经理庄思濛将在“微纳技术在新能源电池领域中的应用技术”分会场带来《电池粉末原子层沉积包覆改性及原位电镜表征方案》的主题报告。1、Phenom-飞纳台式扫描电镜飞纳台式扫描电镜操作简单,效率高,成像质量高,其优异的低真空模式可实现无需喷金直接观察不导电样品。最 新的第二代场发射扫描电镜 Phenom Pharos G2 分辨率优于 1.5nm,是分辨率最 高的台式扫描电镜,是纳米材料表征的强有力工具。Phenom Pharos G2飞纳台式场发射扫描电镜Phenom XL G2飞纳台式扫描电镜大样品室卓 越版Phenom ProX飞纳台式扫描电镜能谱一体机2、Forge Nano-原子层沉积系统ALD 原子层沉积技术已被证明可用于多种组分以及纳米结构的制备,包括单原子 / 团簇催化剂、锂电材料表面包覆等等。Forge Nano 设备基于 ALD 工艺可实现从毫克到千吨级的粉末包覆处理量,能够有效提高电池化学性能与安全性。3、DENSsolutions-TEM 原位实验方案DENS 产品可以为 TEM 样品施加外界刺激,实现在 TEM 中引入气、液、热、电等多种条件,捕捉 TEM 样品在真实环境下的动态现象。目前提供的四种原位实验方案:Wildfire TEM 原位加热方案、Lightning TEM 原位热电方案、Climate TEM 原位气相加热方案和 Stream TEM 原位液相加热 / 加电方案。Wildfire 原位加热样品杆Lightning 原位热电样品杆Lightning 原位热电样品杆Stream 原位液相加热/加电样品杆Climate 原位气相加热样品杆4、VSParticle-全自动纳米研究平台VSParticle 设备采用火花烧蚀制备纳米颗粒的技术,可对产生的颗粒进行粒径的控制,从而获得不同粒径中位值的单分散纳米气溶胶。此外该技术也能用于进行快速打印以及粉末表面的纳米沉积。欢迎各位老师莅临展位与我们探讨交流,我们将随时为您提供专业的解答与支持,现场也有精美小礼品相送噢!
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