2025-02-28 19:22:58正性光刻胶
正性光刻胶,也称正胶,主要由线性酚醛树脂、感光剂(如重氮萘醌DNQ)和溶剂组成。曝光前,它对显影液不可溶;曝光后,曝光部分溶解于显影液,形成的图形与掩膜版遮光区相同。正性光刻胶具有良好对比度和高分辨率,常用于制作晶体管、集成电路等高精度图形领域。

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