2025-01-10 10:52:21cvd气相沉积
CVD气相沉积是一种材料表面处理技术,通过将含有薄膜元素的气态先驱反应物导入反应室,在衬底表面发生化学反应,生成固态薄膜并沉积在衬底上。该技术广泛应用于半导体、光学、材料科学等领域,能够制备高质量、高性能的薄膜材料。CVD气相沉积具有薄膜成分易控、纯度高、均匀性好、可制备复杂组分薄膜等优点,是现代材料制备和改性中的重要手段之一。

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