2025-01-10 17:03:54脉冲激光沉积(PLD)
脉冲激光沉积(PLD)是一种先进的薄膜制备技术,它利用高能脉冲激光照射靶材,使靶材表面物质瞬间蒸发、电离形成高温高密度的等离子体,等离子体定向膨胀并在衬底上沉积形成薄膜。该技术具有成分易控、可制备多层复杂结构、适用于多种材料等优点,广泛应用于氧化物薄膜、超导薄膜、铁电薄膜等的制备。同时,PLD技术还能实现高精度原位掺杂,是材料科学与技术领域的重要研究手段。

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