半导体新材料表征及制程监控技术 - 产品信息 - 相关知识

2025-01-10 17:02:12半导体新材料表征及制程监控技术: 半导体新材料表征及制程监控技术是半导体产业中的关键环节。该技术涉及对新型半导体材料的详细分析与描述，包括其物理、化学及电学特性，以确保材料满足特定应用需求。制程监控则通过一系列精密手段，实时跟踪半导体制造过程中的关键参数，及时发现并纠正偏差，保障产品质量及生产效率。两者共同作用，推动半导体产业向更高集成度、更低功耗及更优性能发展。

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【讲座回放】半导体新材料表征及制程监控技术与应用

来自HORIBA集团各事业部的4位资深技术专家带来了HORIBA在半导体领域的最新技术和解决方案。每一讲结束后的答疑环节，每位讲师针对同学们的提问一一作出了解答。

HORIBA（中国） 421
2022-07-11
半导体新材料表征及制程监控技术光电器件功能薄膜椭圆偏振光谱技术

半导体新材料表征及制程监控技术产品

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半导体新材料表征及制程监控技术问答

2022-10-30 16:48:50报计划指南｜半导体材料表征技术推荐

2024-07-03 16:01:28半导体高低温箱的作用及试验后的好处？: 广皓天生产的半导体高低温箱主要用于对半导体产品进行高低温环境下的性能测试和可靠性评估。其作用包括：检测性能稳定性：在不同温度条件下，观察半导体器件的电性能、工作频率、信号传输等是否稳定，以确保其在各种温度环境中能正常工作。评估可靠性：通过反复的高低温循环，模拟半导体在长期使用过程中可能遇到的温度变化，提前发现潜在的故障和缺陷，提高产品的可靠性和使用寿命。材料特性研究：研究半导体材料在高低温下的物理和化学特性变化，为材料的改进和优化提供数据支持。进行半导体高低温试验后的好处有：提高产品质量：能够提前筛选出存在质量问题的产品，降低产品在实际应用中的故障率，提升整体质量水平。例如，经过试验后，某批次的半导体芯片在高低温下的性能波动得到有效控制，从而减少了后续在电子产品中的故障发生率。增强市场竞争力：生产出质量可靠的半导体产品，有助于企业在市场上树立良好的品牌形象，增强竞争力。比如，某企业的半导体产品因经过严格的高低温试验，在市场上获得了更高的客户满意度和市场份额。降低成本：在产品研发阶段发现问题并解决，避免了在大规模生产和使用后出现质量问题导致的召回和维修成本。假设某半导体企业在研发初期未进行高低温试验，导致产品在大规模投产后出现大量故障，不仅维修成本高昂，还影响了企业声誉。满足行业标准和客户需求：许多行业对半导体产品有特定的温度性能要求，通过高低温试验能够确保产品符合相关标准和客户的特定需求。例如，在汽车电子领域，半导体器件必须经受住极端的高低温环境，通过试验可以保证其满足汽车行业的严格标准。半导体高低温箱的试验对于提高半导体产品的质量、可靠性和市场适应性具有重要意义。广东皓天检测仪器是一家专业从事研发、设计及生产可靠性环境试验设备的科技企业。公司拥有一批经验丰富的技术管理人员和专业的售后服务人员，自主拥有机械设计及软件开发能力。其技术力量雄厚，制造工艺优良，产品品质精优，符合 UL、ASTM、JIS、GB、GB/T、ISO 等执行标准。皓天仪器公司的主营产品包括：科研可程式恒温恒湿试验箱、可程式高低温恒温恒湿试验箱、定做恒温恒湿试验箱、恒温恒湿试验箱，以及高低温箱、冷热冲击箱、紫外线老化箱、淋雨试验箱、沙尘试验箱、振动试验台等。产品广泛应用于航天、高校、IT、通讯、半导体、光电、电子、电器、线材、塑胶、五金、化工、皮革、科研机构和企事业单位等行业领域。凭借专业的技术与完善的售后服务，该公司在业内建立了 ISO9001：2000 质量管理体系、ISO14001：2004 环境管理体系和 OHSAS18000 职业与健康体系，全力贯彻“以质量求生存、以服务立信誉、以管理增效益、以创新造辉煌”的经营方针，实施“用心服务，追求顾客满意，超越客户期待”的阳光服务理念，在主要中心城市设有分公司或办事处。

2025-05-19 11:15:18透射电子显微镜怎么表征: 透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，简称TEM）作为一种强有力的科学研究工具，广泛应用于材料科学、生命科学等领域，用于研究样品的微观结构、组成和形态。透射电子显微镜通过利用电子束穿透样品并形成高分辨率的图像，从而揭示出样品的内部结构，具有比光学显微镜更为的分辨率。在这篇文章中，我们将详细探讨透射电子显微镜的表征原理，分析其在材料分析和生物样品观察中的实际应用，并介绍其如何帮助研究人员更地解析样品的微观特征。透射电子显微镜的工作原理透射电子显微镜的基本工作原理是利用电子束的短波长，突破光学显微镜的分辨率极限。电子束被加速到高能状态，通过电磁透镜聚焦，经过样品后，穿透的电子会与样品中的原子相互作用，产生不同的信号，如衍射图样、透射电子图像等。通过探测这些信号，科学家可以从不同角度观察样品的微观结构。在TEM的工作过程中，样品必须薄至几个纳米级别，这样电子束才能有效穿透。这一特性使得TEM特别适合用于观察薄膜、纳米材料及生物组织切片等结构。透射电子显微镜在材料科学中的应用透射电子显微镜在材料科学领域的应用尤为广泛。它能够帮助研究人员了解金属、陶瓷、半导体等材料的晶体结构、缺陷及表面形态。通过TEM，研究人员可以直接观察到材料中的晶粒、位错、析出相等微观结构特征。这些信息对于提升材料的性能，尤其是在微电子学和纳米技术中的应用，具有极大的指导意义。例如，在研究金属材料的力学性能时，TEM可以用来揭示材料内部的晶体缺陷和裂纹传播路径，这为材料的改性和应用提供了重要依据。透射电子显微镜在生物科学中的应用除了材料科学，透射电子显微镜在生物科学中的应用也极其重要。通过TEM，生物学家可以观察到细胞内部的结构，如细胞膜、核膜、内质网、线粒体等，甚至可以识别细胞中的细胞器和病毒颗粒。TEM在病毒学研究中发挥着不可替代的作用，科学家可以通过透射电子显微镜分析病毒的形态、尺寸和结构，为病毒的诊断与提供理论基础。透射电子显微镜还广泛用于分子生物学研究，帮助解析蛋白质、核酸等生物大分子的结构，为基因工程和药物研发提供了有力的技术支持。透射电子显微镜表征的优势与挑战透射电子显微镜具备高分辨率和深度分析能力，使其在表征微观结构时具有无可比拟的优势。TEM也面临一些挑战。例如，样品的制备要求极高，需要将样品切割至纳米级厚度，且在电子束照射下，样品可能会受到损伤。TEM设备通常体积庞大，操作和维护要求较高，这也限制了其在一些低成本研究中的应用。结语透射电子显微镜作为一种高端科学研究工具，在微观结构表征中发挥着至关重要的作用。无论是材料科学的创新研究，还是生命科学的深入探索，TEM都为科学家提供了的观测手段。随着技术的不断进步，透射电子显微镜的应用前景将更加广阔，推动着各学科领域的不断发展和创新。

2023-05-25 16:47:05【ALP-TS-23008A】脂质纳米粒制备及表征解决方案: 全文共3826字，阅读大约需要12分钟脂质纳米粒简介脂质纳米粒(Lipid Nanoparticle，LNP)是一种粒径介于 10-1000 nm 的新型药物递送载体，由多种有机材料、无机材料、金属 - 有机框架或这些材料组合而成，可作为化学与生物制剂之间传递的媒介，脂质纳米粒包裹药物可显著提高药物的稳定性与生物利用度。[1]目前脂质纳米粒广泛应用于mRNA疫苗递送、肿瘤治疗、抗炎和抗感染药物载体、治疗神经退行性疾病、抗疟等领域。脂质脂质纳米粒可分为固体脂质脂质纳米粒(Solid Lipid Nanoparticles，SLN)和纳米结构脂质载体(Nanostructured Lipid Carriers，NLC)。固体脂质脂质纳米粒（SLN）主要是由固体脂质、表面活性剂、有效成分和水制备的胶体颗粒，具有生物相容性好、有机溶剂使用少、体内稳定性高、应用范围广等优点。但在储藏过程中仍存在载药量低、易凝胶化和药物泄漏等问题；为此，研发人员尝试在固体脂质壁材中加入一定量的液体油脂，打乱了原来单纯固体脂质壁材的有序的晶体结构，负载活性成分的量得到了提高，也使得晶体结构更加稳定，不易发生泄露等现象。[2-3]图1 LNP的结构[3]脂质纳米粒靶向性研究是药物递送热点研究方向之一，考虑到纳米药物自身性质的影响，可通过对其自身物理化学性质进行调控，如粒径、表面电荷、表面修饰物等，以此来增加脂质纳米粒药物的渗透作用。目前还开发了各种粒径可调控的纳米递药系统，Li 等[4，5]构建了一种酸刺激响应型脂质纳米粒，可以在低 pH 条件下将其粒径从 100 nm 缩减到5 nm。脂质纳米粒的初始尺寸有利于长时间的血液循环，当到达肿瘤部位后，酸性环境刺激脂质纳米粒发生结构变化，粒径缩小，有助于脂质纳米粒外渗和组织渗透。除 pH 响应外，肿瘤组织处特异的酶环境、肿瘤细胞内的还原环境和光、热、磁等外部刺激都可以用于调控纳米药物的粒径和表面电荷。[5]除平均粒径外，脂质纳米粒的尾端大颗粒和过小颗粒也会影响纳米药物的效果，尾端大颗粒容易造成脂质纳米粒聚集，影响药物的稳定性和安全性，小颗粒（＜5nm）会被直接脏快速地过滤清除，影响药物的有效性。过滤可有效减少脂质纳米粒药物中的大颗粒和杂质，提高脂质纳米粒药物的稳定性。Alpharmaca奥法美嘉平台提供整套的脂质纳米粒均一性和稳定性的解决方案，可用于快速评估、优化脂质纳米粒的配方和工艺：高压微射流均质机、微流控技术对脂质纳米粒进行均质乳化分散处理、Nicomp粒度分析仪分析平均粒径、AccuSizer颗粒计数器分析大粒子浓度，Lum稳定性分析仪快速分析脂质纳米粒药物稳定性，Entegris-ANOW滤芯过滤杂质及大颗粒。脂质纳米粒的制备技术传统的脂质纳米粒制备技术，包括乙醇注入法、薄膜分散法、逆向蒸发法、冻融法等，存在粒径分布广和批间重复性大等问题，对药物开发的临床试验和生产具有很大的影响。为了解决传统制备方法的弊端，微流控混合技术、高压微射流技术、高压均质等新型制备技术应运而生。高压微射流制备方法：制备水相、油相，经过混合、剪切步骤形成初乳，初乳经微射流均质机均质，而后除菌过滤得到脂质纳米粒。微流控混合技术制备方法：制备水相、油相，将水相油相经过微流控均质乳化后，除菌过滤得到脂质纳米粒。无论是通过何种方法制备脂质纳米粒药物，后续都需要对其平均粒径、尾端大颗粒、稳定性进行检测来筛选配方，PSS的Nicomp粒度分析仪可用于测试平均粒径、AccuSizer颗粒计数器可用于测试大颗粒浓度、Lum稳定性分析仪可用于快速筛选在不同工艺制备下脂质纳米粒药物的稳定性。图2 高压微射流法制备脂质纳米粒图3 微流控混合技术法制备脂质纳米粒脂质纳米粒的粒径控制脂质纳米粒的粒径与其靶向性和有效性紧密相关，粒径小且分布窄是脂质纳米粒药物的理想粒径。微流控技术通过微米通道控制流体的流动和混合，具有良好的单分散性、可控性及重现性，可改善脂质纳米粒的均一性和药物包封效率，并实现高通量生产，已成功应用于Covid-19 mRNA 疫苗的制备[6]。高压微射流均质技术使物料在高压作用下以高速度流经腔体，经过剪切、碰撞、空穴效应等物理作用降低脂质纳米粒的平均粒径，可对脂质纳米粒初乳进一步均质分散。高压微射流均质机PSI-20高压微射流均质机（小试兼中试型）采用固定结构的均质腔，通过电液传动的增压器使物料在高压作用下以极大的速度流经交互容腔的微管通道，物料流在此过程中受到高剪切力、高碰撞力、空穴效应等物理作用，使得平均粒径降低、体系均一稳定，由此获得理想的均质、分散、去团聚的结果。图4 PSI高压微射流均质机最高2069 bar的均质压力，最高处理量20L/h（PSI-20）采用特殊设计Y型腔，去除尾端大颗粒效果佳，物料的混合更均一，处理效率高。屏显界面，数据可溯源：支持数据导出设定压力及实时压力、监测点温度、实时流量、时间等。配置K型热电偶：可用于实施监测料液温度。低噪音：运行音量低于70分贝，工作环境友好型。NanoSpirit 系列微流控药物制剂递送平台微流控制备系统通过制造泵和高压输送泵与微流控芯片连接。A相和B相可以按一定比例以恒定速度混合和乳化。在微流控芯片中，设计不同的流道结构，控制不同的速度，使样品在微流控芯片中湍流、层流或雾化，可以满足预乳化或再乳化的要求。还可以将制备好的样品通过高压泵输送到高压微流控芯片中，通过冲击力和剪切力控制粒径，达到达到所需的包封率、粒径、粒径分布均一性等要求。图5 NanoSpirit 系列高精度流量控制（＜5‰）。可提供多项可调参数（反应量、流速等）。多型号微流芯片通用，适合多种载体类型。注射器规格：0.25，1，2.5，5，10 ml。自动充液、反应、前后排废、清洗等工能平均粒径与Zeta电位检测脂质纳米粒径不同使药物富集在不同部位可现不同治疗效果。应用于肿瘤治疗领域的脂质纳米粒，由于肿瘤组织处血管丰富，血管壁间隙较宽且结构完整性差，具有适宜尺寸的脂质纳米粒（60-200 nm）可通过 EPR 效应在肿瘤处积聚，实现纳米药物的被动靶向。脂质纳米粒电性一般呈中性或轻微负电性，在血液循环中，高正电性的脂质纳米粒会吸附蛋白质，被迅速清除，进而影响脂质纳米粒的药代动力学和生物分布。相比之下，中性脂质纳米粒以及带有轻微负电荷的脂质纳米粒则显示出延长的半衰期。Zeta电位是衡量药物稳定性指标之一，Zeta电位的绝对值越高，体系越稳定。Nicomp纳米激光粒度仪系列Nicomp系列纳米激光粒度仪采用动态光散射原理检测分析样品的粒度分布，基于多普勒电泳光散射原理检测ZETA电位。图6 Nicomp 3000系列粒径检测范围0.3nm-10μm，ZETA电位检测范围为+/-500mV搭载Nicomp多峰算法，可以实时切换成多峰分布观察各部分的粒径。高分辨率的纳米检测，Nicomp纳米激光粒度仪对于小于10nm的粒子仍然显示较好的分辨率和准确度。图7 高斯粒径分布图图8 多峰粒径分布图颗粒分布检测尾端大颗粒的存在会影响药物本身的稳定性，由于表面积增大，使得体系形成热力学不稳定体系，容易发生脂质纳米粒聚集以降低体系自由能现象。尾端大颗粒的存在还会对身体机能造成影响，较大的颗粒（> 200 nm）容易积聚在肝脏和脾脏中，影响药物安全性；粒径极小（< 5 nm）的颗粒则会被肾脏快速地过滤清除，影响药物的有效性。AccuSizer颗粒计数器系列AccuSizer系列在检测液体中颗粒数量的同时精确检测颗粒的粒度及粒度分布，通过搭配不同传感器、进样器，适配不同的样本的测试需求，能快速而准确地测量颗粒粒径以及颗粒数量/浓度。图9 AccuSizer系列检测范围为0.5μm-400μm（可将下限拓展至0.15μm）。0.01μm的超高分辨率，AccuSizer系列具有1024个数据通道，能反映复杂样品的细微差异，为研发及品控保驾护航。灵敏度高达10PPT级别，即使只有微量的颗粒通过传感器，也可以精准检测出来。可出具法规报告LumiSpoc单粒子颗粒计数器LumiSpoc采用单粒子光散射技术（SPLS），通过在光学流通池中进行流体动力聚焦，将单个粒子排列成一条直线。通过调整流动条件来调整样品浓度，从而避免浓度峰值的影响。当单个纳米或者微米颗粒经过特殊光束截面的激光束时，记录其正向和侧向散射的光强。根据米氏理论，将分类强度转换为粒度分布密度。通过软件分析显示计数分布、颗粒浓度。在行业内已有使用Lumispoc用于颗粒浓度的监测成功案例。图10 LumiSpoc单粒子颗粒计数器颗粒粒径检测范围：50 nm ~ 8 µm（取决于样品）颗粒浓度检测范围：1 × 106 ml-1 ~ 1 × 109 ml-1进样体积：250 μl稳定性分析检测稳定性是评价药物制剂质量的重要指标之一，也是确定药物制剂使用期限的主要依据。药物制剂若发生分解、变质，可导致药效降低，甚至产生或增加毒副作用，危及患者的身体健康和生命安全，Zeta电位、尾端大颗粒浓度都是衡量药物稳定性的指标之一。除此之外，还可以使用稳定性分析仪测量样品的分离、沉降、悬浮或澄清、浮离、聚集、凝聚或产品存放期以及粒径分布。LUM稳定性分析仪Lum稳定性分析仪可以直接测量整个样品的分散体的稳定性，检测和区分各种不稳定现象，如上浮、絮凝、聚集、聚结、沉降等，通过测量结果可用来开发新的配方和优化现有的配方及工艺。图11 LUM稳定性分析仪快速、直接测试稳定性，无需稀释，温度范围宽广可同时测8个样品，测量及辨别不同的不稳定现象及不稳定性指数加速离心，最高等效2300倍重力加速度过滤经高压微射流均质机或微流控技术处理的脂质纳米粒，还需进行适当的过滤工艺，用于去除脂质纳米粒药物中的尾端大颗粒和杂质，提高药物的稳定性和安全性。滤膜的材质和型号将影响脂质纳米粒药物的过滤效率和效果，综合考虑膜与纳米药物配方的兼容性、成本、效率等多方面因素选择合适的滤膜。Entegris滤芯Entegris-Anow是一家高分子微孔膜过滤企业，专业从事MCE、Nylon、PES、PVDF、PTFE等（膜孔径为0.03μm~10μm）微孔膜的研发及生产，具有二十多年服务与医药客户经验，并为全球生物制药、医疗器械、食品饮料、实验室分析、微电子及工业等领域的客户提供过滤、分离和净化解决方案。