在精密制造、半导体、高端刀具等前沿领域,产品的性能往往隐藏在微观的几何轮廓之中。如何快速、精准地测量那些具有超高斜率、复杂三维形貌的样品,一直是工业检测中的一大技术挑战。
今天,我们向您介绍一项突破性的测量方案——Sensofar白光干涉仪,及其创新的AI多焦面叠加技术,它将带领我们解锁高斜率测量的全新体验。
无论是精密的切削刀具刃口、微透镜阵列,还是MEMS器件的复杂结构,它们通常拥有接近垂直的侧面或极大的表面倾角。传统的光学显微镜或接触式探针在这些区域往往“力不从心”,会出现信号丢失、无法对焦或测量误差急剧增大的问题,导致关键尺寸(如角度、曲率半径)的测量失真或失败。
Sensofar白光干涉仪的核心优势,在于其深度融合的AI多焦面叠加技术。这项技术如同为仪器装上了“智能眼睛”和“全景大脑”:
智能对焦:面对高斜率表面,仪器可自动在不同高度进行多焦面快速扫描,AI算法智能合成所有焦面的清晰信息,确保即便是近乎垂直的86度陡峭侧面,也能获得完整、清晰的形貌数据,最高角度支持率可达86度。
无缝拼接:对于大尺寸样品,该技术支持大范围视场自动拼接。以高斜率刀具测量为例,仅需约5秒即可完成14个单视场的拍摄,在短短两分钟内就能完成从数据采集到全景图像生成的完整流程,最终拼接出尺寸高达2809 x 42354微米的高清全景三维图像,效率远超传统方法。
获得高清三维形貌只是第一步。Sensofar强大的分析软件能让测量结果直接转化为工程决策所需的关键数据。
经基准面调平后,操作者可以在三维模型上自由提取任意位置的剖线,从而精准测量高度、角度斜率、曲率半径等一系列维度参数。这个过程直观、快捷,为研发改进、工艺优化和质量控制提供了无可辩驳的数据支撑。
Sensofar白光干涉仪,凭借其AI多焦面叠加技术,成功攻克了高斜率、大尺寸样品测量的行业痛点,实现了高精度、高效率、高适应性的完美结合。它不仅是实验室的精密研究工具,更是产线上实现全面质量控制的可靠伙伴。
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