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KRI 离子源辅助镀膜 IAD 霍尔离子源和考夫曼离子哪个好

来源:伯东企业(上海)有限公司 更新时间:2023-02-28 13:52:20 阅读量:134

光学镀膜是光学工业中Z为重要的工艺之一,  其中离子源辅助镀膜技术是一种目前技术先进的光学镀膜技术.  离子源辅助镀膜IAD的作用有:

1. 填充密度提高:折射率提高

2. 波长漂移减少

3. 红外波段的水气吸收减少

4. 增强了膜层的结合力、耐摩擦能力,  机械强度,  提高表面光洁度

5. 控制膜层的应力

6. 减少膜层的吸收和散射

7. 提高生产效率

 

离子源工作原理

在真空环境下,  利用发射的电子在电场合磁场的相互作用下,  使充入真空室的气体产生离化,  在电场合磁场的作用下发射离子. 

 

上海伯东代理美国考夫曼公司霍尔离子源、考夫曼离子源和射频离子源,  选择哪类型离子源,  用于辅助镀膜 IAD呢?今天就跟大家简单介绍这三种离子源.

 

霍尔离子源

霍尔离子源属于高浓度低动能型, 其主要构成结构有:

1. 灯丝

2. 阳极模組

3. 主要模組

4. 底座(可调整角度, 高度)

实图如下:

KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列在售型号及技术参数:

离子源型号

霍尔离子源

eH200(停产)

霍尔离子源

eH400
eH400LE

霍尔离子源

eH1000
eH1000LE
eH1000LO

霍尔离子源

eH1000xO2

霍尔离子源

eH2000
eH2000LE
eH2000HO

霍尔离子源

eH3000
eH3000LO
eH3000MO

Cathode/Neutralizer

F or HC

F or HC

F or HC

F or HC

F or HC
HC
HC

HC

电压

30-300V

50-300V
30-150V

50-300V
30-150V
50-300V

100-300V

50-300V
30-150V
50-250V

50-250V
50-300V
50-250V

电流

2A

5
10A

10A
12A
5

10A

10A
15
15

20A
10A
15

散射角度

>45

>45

>45

>45

>45

>45

可充其他

Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others

气体流量

1-15sccm

2-25sccm

2-50sccm

2-50sccm

2-75sccm

5-100sccm

高度

2.0“

3.0“

4.0“

4.0“

4.0“

6.0“

直径

2.5“

3.7“

5.7“

5.7“

5.7“

9.7“

水冷

可选

可选

可选

可选

 

考夫曼离子源 KDC

考夫曼离子源 KDC属于高浓度低动能型, 其主要构成结构有:

1.    Grid (栅极) 模組

2.    Out shell (外壳) 模組

3.    CathodeCathode moudlemoudle (阴极模组)

4.    Anode with Magnet assembly (阳极与磁力模组)

 

伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术参数:

离子源型号

离子源 KDC 10

离子源 KDC 40

离子源 KDC 75

离子源 KDC 100

离子源 KDC 160

Discharge

DC 热离子

DC 热离子

DC 热离子

DC 热离子

DC 热离子

离子束流

>10 mA

>100 mA

>250 mA

>400 mA

>650 mA

离子动能

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

栅极直径

1 cm Φ

4 cm Φ

7.5 cm Φ

12 cm Φ

16 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

1-5 sccm

2-10 sccm

2-15 sccm

2-20 sccm

2-30 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

长度

11.5 cm

17.1 cm

20.1 cm

23.5 cm

25.2 cm

直径

4 cm

9 cm

14 cm

19.4 cm

23.2 cm

中和器

灯丝

 

射频离子源 RFICP

射频离子源RFICP属于高浓度低动能型, 其主要构成结构有:

1. 底座风冷风扇

2. Grid (栅极) 模組

3. RF Coil (射频铜管)

4. 石英杯

5. LFN 2000 (灯丝) 中和器

 

射频离子源 RFICP 系列技术参数:

型号

RFICP 40

RFICP 100

RFICP 140

RFICP 220

RFICP 380

Discharge

RFICP 射频

RFICP 射频

RFICP 射频

RFICP 射频

RFICP 射频

离子束流

>100 mA

>350 mA

>600 mA

>800 mA

>1500 mA

离子动能

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

栅极直径

4 cm Φ

10 cm Φ

14 cm Φ

20 cm Φ

30 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射


流量

3-10 sccm

5-30 sccm

5-30 sccm

10-40 sccm

15-50 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

长度

12.7 cm

23.5 cm

24.6 cm

30 cm

39 cm

直径

13.5 cm

19.1 cm

24.6 cm

41 cm

59 cm

中和器

LFN 2000

 

以上是 KRI 霍尔离子源 / 考夫曼离子源 / 射频离子源简单介绍.

 

KRI 离子源辅助镀膜 IAD 时, 霍尔离子源和考夫曼离子源, 哪个好? 其实从上面的介绍可以看出, 霍尔离子源和考夫曼离子源, 并没有好与不好之分, 主要是看工艺的需求, 适合的才是Z合适的.

 

关于选型, 如果您有什么问题,  欢迎通过下方联系方式联系我们.

 

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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