离子溅射仪百科

LJ-16离子溅射仪是专用于扫描电镜（SEM）的样品喷金镀膜系统，能够极为有效的提高电镜观测效果。 操作简便，性能优越，质量稳定，功能丰富

108离子溅射仪是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。 描述 108离子溅射仪是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。 主要特性 l 通过GX低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。 l 操作容易快捷，控制的参数包括放气以及氩气换气控制。 l 可用MTM-10高分辨膜厚控制仪（选件）精确测定所镀膜的厚度。 l 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和ZJ的镀膜效果。 可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。

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整体含溅射主机和真空系统组成，溅射靶头被设置成为一个二级溅射结构，通过均匀恒定的电场激发并电离气体分子，形成稳定的辉光放电现象，被电离的离子和电子在这个电场下进行加速，从而使靶原子逃离靶材表面在样品上面形成纳米涂层 配套世界主流扫描电子显微镜厂家： 热电（美国原荷兰）FEI钨丝阴极、场发射、飞纳台式等各类型电子显微镜，蔡司（德国）钨丝阴极、场发射各系列的扫描电子显微镜，JEOL（日本电子）各类电镜，日立（日本）各系列电镜、台式电镜，TESCAN泰斯肯（捷克）各系列电镜，还有如韩国“赛科”、COXEM库赛姆、MIRERO等电镜品牌及所有需要样品前期处理，提高成像质量、增强导电性能等表面镀膜处理的样品制备工作。

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