离子溅射仪常见故障和技术参数

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。

离子溅射仪常见故障

故障现象：使用一段时间后，溅射电流变小

解决方法：对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查。前两者对靶材进行更换，后者被油蒸汽污染，通过无水乙醇进行清洁，等到干了以后才能够抽真空。

故障现象：在使用一段时间以后，有着过低的真空。

解决方法：对溅射室中或管道内是否有油进行检查，能够使用汽油进行清洗。

故障现象：溅射电流不稳定忽高忽低

解决方法：阴极罩与靶的固定环有着过近的距离，将阴极罩逆时针旋转，对间距进行调整。

故障现象：有着过低的真空

解决方法：将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧。

离子溅射仪技术参数：

1、真空测量：1×10的5次方到-1.0×0.1帕，数字显示，单片机进行控制，数字进行显示，真空保护锁设置为其所具有。

2、控制系统：单片机控制，使得真空自动测量、显示、定时器dao计时功能完成以及使得镀膜程序自动完成。

3、真空泵：每秒2升二级旋片式直联机械泵，极限真空度6×0.1帕。

4、充气阀：金属微调针型阀，保护气体：推荐99.9%纯度氩气

5、外形尺寸：长354毫米 ×高216毫米 ×深340毫米

6、电源：AC 220伏特 50赫兹

7、真空腔：￠150×12 硼酸硅质玻璃

8、溅射靶尺寸：￠55×0.3

9、基台： ￠50 6-8个样品

10、极间距调节范围：20-40毫米

11、溅射电压： -2000伏-0 DC连续可调

溅射电流0-30 毫安

12、定时器：0-99分数字显示