离子溅射仪系统安装

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。

离子溅射仪系统安装

1、电源要求:220VAC,50赫兹

2、工作台要求:长120厘米×宽100厘米

3、将包装箱小心拆开，将真空泵和溅射仪主机取出，并且在工作台上放置，在溅射仪主机的后面放置真空泵。

4、将油雾过滤器在真空泵上安装，并且将适量的真空泵油往进油口倒入，使真空泵油在观察窗口的上线和下线之间得以确保（设备出厂时有可能已经有适当真空泵油被装在真空泵中）。

5、小心地抬起溅射仪主机上的溅射头并且尽可能地向后仰,使溅射头不会倒下得以确保。将溅射头保护垫移走，将玻璃样品室安上，再将溅射头小心轻轻的放下。

6、在真空泵和溅射仪主机连接金属真空管件，在连接以前shou先将真空管转接头安装在真空泵上。在连接时需要将真空垫圈在每个接口垫上。为了避免真空泄漏，在连接以后值得注意的是将接口锁紧。

7、通过电源线连接上真空泵和溅射仪主机，并且将真空泵上的开关打到开的位置。

8、将溅射仪主机的电源线接上，并且将溅射仪主机后面的进气口打开。