离子溅射仪溅射需要

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体。

离子溅射仪溅射需要：

1、离子溅射仪溅射材料

金为较为常用的溅射材料，其有着较高的导电性。喷金仪拥有越高的真空度，就会溅射越小的金属颗粒，能够使得样品表面形貌失真的情况减少。当需要超高分辨率成像时，高真空喷金仪被shou先选择，同时如铬，铱等其它溅射材料也能够被选用，有着更为细小的溅射的晶粒。

2、离子溅射仪需要溅射喷金的样品：

（1）、一类样品为非导电的样品，因为样品不导电，“电子陷阱”为其表面所带有，该种表面上的电子积累被叫做“充电”。为了使得荷电效应消除，能够将一层金属导电层镀在样品表面，镀层作为一个导电通道，从材料表面将充电电子转移走，使荷电效应消除。在扫描电镜成像时，溅射材料能够使信噪比增加，从而使更好的成像质量获得。

（2）另外一类样品为电子束敏感的样品，生物样品，塑料样品等为所包含的主要样品，较高能量为SEM中的电子束所具有，在和样品的相互作用过程中，其将部分能量通过热的形式传递给样品。若样品为对电子束敏感的材料，那该种相互作用会对部分甚至整个样品结构加以破坏。该种情况下，一种非电子束敏感材料制备的表面镀层被采用就能够使得对镀层的保护作用起到，使得该类损伤得以避免。