微粒子可视化系统--寻找问题来源，降低环境及产品中的颗粒物

伴随着现在制造技术的细微化，因为微粒子污染而造成品质低落的问题层出不穷，依照制造的过程，从上游到下游都可看见此问题。目前普通使用的方法仅能检测微粒子的数量及大小，并无法得知来源。因此新研发了能够将现场产生的现象转换成影像，开发了空气中以及液体浮游粒子可视化的系统，可第一时间将现场的情报资料转换成影像画面。

利用雷射光照射微粒子后产生微弱散射光后被高感度镜头捕捉，传输至电脑进行影像处理后转换成影片显示出来。

可看见即时散布微粒子的静态及动态影像、比微粒子计数器有较宽广的量测范围。 可利用系统取得超阔动态影像范围-从细微的粒子到较粗大的粒子。

1、送风过滤系统的检测

清净厂房送风口高效过滤器泄露检测：清净厂房内千级或百级层流泄露检测，设备内部有高效过滤器过滤的局部环境等。

2、洁净室相关用品，物料产尘检测

净化服产尘检测，洁净室用无尘布，无尘纸等无尘消耗品，生产物料产尘检测等。

3、洁净室生产工序产尘检测

特殊产尘的生产工序，如点焊，打磨等，人员动作频努的工序产尘检测，特定动作扬尘检测。

4、洁净室设备，物料清洁检测

设备做表面请洁或擦洗等动作，清洁试剂残留检测，清洁工具是否使用得当，本身是否产尘。