气体质量流量控制器在配气仪、动态校准仪中的应用

多组分混合标准气体是环保行业实现监测设备多点标定的重要工具，以质量流量控制器为配气部件的动态校准仪(或动态气体稀释装置等)，利用高浓度标气和零气，通过对各气路气体流量的精确控制，实现多浓度点气体的连续、稳定配制，并以低成本、智能检测、自动配气、不受使用环境温度和压力影响等优势被广泛应用。

客户应用背景：作为动态校准仪的研发生产商，对流量控制器的现场表现有多方面的实际需求。气体流量控制器的重复性和可靠性、微小的漏气、不同温度压力下的精度保持能力等问题，最终会对客户造成不同程度的困扰。提高动态校准仪的精度和稳定性，减少最终用户的长期使用和维护成本，成为发展和技术进步的方向。

关键关注点：

动态校准仪简化原理框图（自制图片，不代表真实原理结构）

➢ 高重复性的配气

➢ 对温度和压力漂移，环境适应性好

➢ 对前端压力波动不敏感

➢ 宽量程精度保持能力（例如20%~100%或10%~100%量程范围内达到±1%S.P.）

➢ 高可靠，长期精度不漂移，控制稳定性好

➢ 要求对低浓度的NH3/SO2/CO等气体有较好的抗污染能力

解决方案：

为提高动态校准仪连续稳定的输出浓度，易度提供了MCF100系列层流压差式质量流量控制器作为标准配气元件，选用阀门后置型产品，可监测前端气体压力，并选取了几种不同的量程，典型气体流量为100SCCM和10SLPM的质量流量控制器，精度为±1.0% S.P.。

➢ 内置的比例调节阀和流量传感器具有高分辨率和稳定性

➢ 内置的绝压和温度传感器，具有-20~50℃，0~1MPa的宽环境适应性

➢ 层流压差式流量控制器具有极快的反馈控制速度，对前端压力不敏感

➢ 层流压差式流量控制器具有宽量程精度保持能力的原理性优势

➢ 层流压差式原理，高性能压力、压差传感器和比例阀门是长期可靠性的基石

➢ 自研的压力和压差传感器对低浓度腐蚀性气体不敏感，有较好的抗污染能力

易度流量控制器采用层流压差式原理，在气体流量控制的精度和重复性上有明显的优势，100:1的量程比（可定制更高量程比），在小流量段也能实现毫秒级快速控制。比例调节阀在设计中充分考虑密封性和内漏问题，将客户的关键关注点解决，帮助客户将动态配气仪提升到更高品质和更优性能。