等离子清洗机维护保养

等离子清洗机是干法清洗，不使用ODS有害溶剂，清洗后不会产生有害污染物，绿色环保，同时在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。等离子清洗机广泛应用于橡塑、汽车、电子行业等物件的清洗。

日常做好仪器的维护保养关乎着仪器的正常运转和使用寿命，等离子清洗机在进行维护保养的时候可以从以下几点着手：

1、定期检查真空泵油位和纯度，观察油位视窗，油位接近ZD红线刻度时，则添加到油红标线上下之间位置；观察油的颜色，正常的油为清洁透明，当油出现浑浊、真空泵噪音异常，则及时更换真空油。

2、定期用酒精清洗所有电极板及腔体壁，保持腔体清洁。

3、仪器在使用前后需要做好电极的清洁工作，检查电极馈入是否氧化、绝缘条有无磨损或绝缘效果不佳，如出现异常需要立即更换。

4、定期检查真空系统的完整性，反应腔体门密封条是否松动，各管路是否连接紧固、老化等。

5、定期将等离子清洗机的丝杆、导轨表面涂上黄油。

6、使用前检查否漏气及漏油。

7、做好风机过滤器的定期清洁工作。