英国 Hiden HPR-90 密封气体分析质谱仪特点

Hiden HPR-90 密封气体分析质谱仪：深耕高纯气体监测的利器

在现代科学研究与工业生产中，对气体纯度的控制至关重要，尤其是在半导体制造、新能源、特种化学品等领域。英国 Hiden Analytical 作为质谱技术的佼佼者，其 HPR-90 密封气体分析质谱仪凭借的性能和创新的设计，已成为高纯气体监测领域的标杆产品。本文将深入剖析 HPR-90 的核心特点，为相关行业从业者提供专业视角。

的灵敏度与选择性，洞悉微量成分

Hiden HPR-90 采用先进的四极杆质谱技术，配合高效的离子源和检测系统，能够实现极低的检测限。其检测限可低至 ppb（十亿分之一）级别，甚至在特定条件下可达 ppt（万亿分之一）级别。这意味着即使是痕量杂质，也能被 HPR-90 捕捉，这对于要求极高纯度的应用场景，如超净间气体输送、特种气体配制等，提供了前所未有的分析能力。

除了高灵敏度，HPR-90 的质量数分辨率高达 1 amu @ 10% 峰谷，能够有效地区分质量数相近的分子和同位素，确保分析结果的准确性和可靠性。例如，在监测氩气纯度时，可清晰区分 ${ }^{36}\text{Ar}$、${ }^{38}\text{Ar}$、${ }^{40}\text{Ar}$ 等同位素，以及可能存在的 ${12}\text{C}{ }^{16}\text{O}_{2}$（质量数 44）等干扰物。

创新的进样系统，适应严苛环境

HPR-90 针对密封气体分析的特点，设计了优化的直连进样系统。该系统具备低死体积、低吸附的特性，能够大限度地减少气体在传输过程中的损耗和污染，确保进入质谱仪的气体成分与实际样品相符。

• 加热管线选项： 可选配最高可达 150°C 的加热管线，有效防止高沸点杂质在管壁吸附，确保分析的准确性。
• 精密质量流量控制器（MFC）： 集成的 MFC 能够精确控制气体流速，实现稳定可靠的进样，并支持多种气体类型。
• 自动化阀门切换： 多通道进样设计，配备自动化阀门，可实现对不同气源的自动切换与分析，极大提升了工作效率。

强大的数据处理与软件支持，化繁为简

Hiden HPR-90 配备了功能强大的 Spectrum 软件，为用户提供了直观易用的操作界面和全面的数据分析功能。

• 实时监测与趋势分析： 软件支持对气体成分进行实时监测，并生成成分随时间变化的趋势图，便于用户追踪气体质量的变化规律。
• 多组分定量分析： 能够同时分析和定量多种气体组分，并可根据用户需求定制分析方法，生成详细的分析报告。
• 数据库与方法管理： 内置丰富的质谱数据库，并支持用户自定义方法和数据库，方便快速查找和建立分析模型。
• 网络化连接： 支持 LIMS（实验室信息管理系统）等网络连接，实现数据共享与集中管理。

典型应用领域

HPR-90 密封气体分析质谱仪的应用广泛，涵盖：

• 半导体制造： 高纯电子气体（如 $\text{Ar}$、$\text{N}{2}$、$\text{O}{2}$、$\text{H}{2}$）的纯度检测，微量杂质（如 $\text{H}{2}\text{O}$、$\text{CO}$、$\text{CO}_{2}$）的分析。
• 新能源领域： 锂电池电解液气体、燃料电池气体、储氢气体的杂质分析。
• 特种化学品： 高纯度惰性气体、标准混合气体的质量控制。
• 环境监测： 密封容器内气体成分变化监测。
• 科学研究： 反应气体过程监测、材料释放气体分析等。

总而言之，Hiden HPR-90 密封气体分析质谱仪凭借其高灵敏度、高分辨率、可靠的进样系统以及强大的软件支持，为高纯气体分析提供了先进、高效的解决方案，是实验室和工业界不可或缺的精密仪器。