多组分吸附穿透曲线分析仪助力天工大团队在发表新成果 ：氟化MOF基六氟丙烯纳米阱用于高效纯化八氟丙烷电子特种气体

八氟丙烷(C₃F₈)作为含氟电子特种气体之一，因其良好的化学和热稳定性、较低的大气寿命和更有效的蚀刻/清洗性能而广泛应用于半导体和集成电路制造领域。然而工业上C₃F₈的生产通常伴随着六氟丙烯(C₃F₆)杂质，无法满足集成电路制造领域对C₃F₈的纯度要求。由于C₃F₈和C₃F₆具有非常相似的物理和化学性质，以及接近的分子尺寸，生产高纯度的C₃F₈是一个充满具有挑战性和复杂性的过程。工业上通常采用精馏方法进行C₃F₆/C₃F₈分离，但其能耗大，设备投资高。相比之下，吸附分离技术具有优势。

图1. (a) 具有均匀的窄通道的分子筛分吸附剂分离选择性高，但吸附容量低；(b)孔径大的吸附剂吸附容量高，但分离选择性低；(c)笼状MOF的氟化孔隙工程策略，有望解决吸附容量和选择性选择性之间的权衡问题

图4.(a) Zn-bzc-CF₃中C₃F₆的Z佳吸附构型；F···H-C的距离为2.15-3.80 ? (红色虚线)，F···F的距离为2.53-3.53 ? (绿色虚线)；(b) Zn-bzc-CF₃中C₃F₆吸附的独立梯度模型分析。

论文信息：

Fluorinated MOF-Based Hexafluoropropylene Nanotrap for Highly Efficient Purification of Octafluoropropane Electronic Specialty Gas

Mingze Zheng, Wenjuan Xue, Tongan Yan, Zefeng Jiang, Zhi Fang, Hongliang Huang,* Chongli Zhong,*

Angewandte Chemie International Edition

DOI: 10.1002/anie.202401770

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