浙江某 CVD 人造钻石制造商采用伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 对其 CVD 钻石生产设备长晶炉检漏, 客户采用负压法对 Seki 长晶炉设备真空腔和气体供应系统进行检漏, 经过泄漏检测, 生产的人造钻石可以匹配甚至超过天然钻石的质量和特性!
氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:
型号 | ASM340 | ASM340 D | ASM340 I |
对氦气的Z小检检漏率 | 5E-13 Pa m3/s | 5E-13 Pa m3/s | 5E-13 Pa m3/s |
检测模式 | 真空模式和吸枪mo式 | 真空模式和吸枪mo式 | 真空模式和吸枪mo式 |
检测气体 | 4He, 3He, H2 | 4He, 3He, H2 | 4He, 3He, H2 |
启动时间 min | 3 | 3 | 3 |
对氦气的抽气速度 l/s | 2.5 | 2.5 | 2.5 |
进气口Zda压力 hPa | 25 | 25 | 5 |
前级泵抽速 m3/h | 油泵 15 | 隔膜泵 3.4 | 不含前级泵 |
重量 kg | 56 | 45 | 32 |
氦质谱检漏仪 ASM340 优点:
1. 前级泵配备旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h
2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s
3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检检漏率:
真空模式:5E-13 Pa m3/s
吸枪mo式:5E-10 Pa m3/s 目前业界公认Z小漏率
4. 移动式操作面板(有线、无线)
5. 集成SD卡, 方便资料处理
6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性
7. 丰富的可选配件, 如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等
8. 检测时间短
待检漏产品:

长晶炉设备需要检漏:
在 CVD 过程中, 将一片薄的金刚石种子 ( 通常是天然的金刚石) 放置在密封室中, 加热到 800摄氏度左右. 然后通入富碳气体 ( 通常是甲烷 ) 和其他气体. 如果密封室或者气体供应系统有漏, 直接影响原子沉积, 导致无法形成钻石或质量不佳.
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