某专门生产半导体配件公司采用移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 对高端不锈钢管, 阀门和歧管等配件进行检漏, 以验收管件是否达标. 其产品漏率值需要达到 10-9mar l/s.
伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱测漏仪 ASM390 技术参数:
型号 | ASM390 |
检测气体 | 4He, 3He, H2 |
Z小检测漏率 | 真空模式: 1X10-12 mbar l/s |
对氦气的抽速 | 10 l/s |
前级泵抽速 | 35 m3/h |
进气口Z/大压力 | 20 mbar |
无校准的启动时间(20°C) | 2 min |
进气口 | DN 40 ISO-KF |
响应时间 | < 1 s |
Interface, 选配 | RS-232, I/O, Ethernet |
噪音 | ≤ 55 dB (A) |
重量 | 125 kg |
尺寸(LxWxH) | 1072 x 455 x 1025 mm |
待检漏产品:
半导体配件-不锈钢管检漏方法工作示意图如下：
移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:
1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间
3. 大型彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. 完全符合 Semi S2 标准
若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :
上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
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