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为“光”把关 | 瑞士万通水分仪助力塑造更可靠的光刻材料

来源:瑞士万通中国有限公司 更新时间:2026-03-11 13:15:29 阅读量:52
导读:为“光”把关 | 瑞士万通水分仪助力塑造更可靠的光刻材料


半导体光刻胶是芯片制造的关键材料,通过光照强度控制溶解度,将掩模版电路图形精准转移到晶圆表面,其性能直接影响芯片分辨率、良率和制造成本,是半导体产业链中技术壁垒最高的环节之一。


中国光刻胶产业呈现“成熟制程突破、先进制程追赶” 格局。

光刻材料产业链结构主要包括:

上游

树脂、光引发剂、溶剂及生产检测设备为核心原材料

中游

光刻胶配方研发与生产制造

下游

集成电路制造企业,包括逻辑芯片、存储芯片等应用场景

光刻胶是半导体芯片制造中 “图形转移” 的核心电子化学品,其成分包含树脂、感光剂、溶剂及添加剂,水分含量需严格控制。

微量水分的存在会直接破坏光刻胶性能:

?? 一是导致树脂聚合度下降,涂覆时出现 “针孔”“缩孔” 缺陷,影响晶圆表面平整度

?? 二是与感光剂发生水解反应,降低曝光灵敏度,造成图形分辨率偏差(如线宽缩小或扩大)

?? 三是水分在后续烘干环节形成气泡,导致光刻胶膜层脱落,最终引发芯片良率下降

852

精湛一代双通道卡氏水分测定仪


集成了多项瑞士万通的先进技术,基于专利的无死体积滴定管和多项智能化技术,是高度自动化、智能化实验室的非常好的选择。852兼具库仑法/容量法两种卡氏水分滴定方法。当您要分析含不同种类的样品的时候,852精湛一代就是您非常好的选择。不仅可以节约成本,还可在同一台设备上进行不同方法的对照,为研发生产提供更丰富的数据。


874

全自动卡氏样品加热进样器


提供了多样品位和程序升温功能。使其既可以应用于高通量的常规样品测试,又可以应用于困难样品的条件实验和方法开发。配合瑞士万通容量法或库仑法卡氏水分测定仪,实现了全自动样品转换与困难样品分析的有机结合。

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