在半导体晶圆的划片槽中,在 MEMS 复杂的悬臂梁上,亦或是 Micro-OLED 极微小的像素点内…… 您是否曾因为测量光斑太大,无法精准定位而感到头疼? 您是否厌倦了传统光纤探头的“盲测”,渴望拥有一双能看清微观世界的“慧眼”?
今天,悉识科技(AcuiTik)正式交出答卷—— 全新 NS-Micro 显微膜厚测量系统,重磅发布。
NS-Micro是悉识科技专为“微小区域(Micro-spot)”膜厚测量打造的显微光谱系统。
它不是一台冷冰冰的独立设备,而是一个可以无缝集成到您现有显微镜上的“超级大脑”。它继承了 NS-20 系列强大的算法基因,通过标准 C 接口(C-Mount)与显微镜完美融合,将光谱分析能力带入微米级视界。
简单来说,它让您的显微镜,不仅能“看”清形貌,更能“测”出厚度。
微米级光斑,极致精细告别毫米级光斑的粗放,NS-Micro 的测量光斑大小仅取决于您的物镜倍率。 配合高倍物镜,测量光斑可小至 1 μm。无论是带有精细图案的 Patterned Wafer,还是微流控芯片的内部涂层,都能轻松应对。
所见即所得,拒绝盲测NS-Micro 集成了高分辨率 CMOS 相机,通过PolarX 软件的“视频视图”功能,实时呈现样品表面图像。十字准星指哪里,光谱就测哪里。可视化定位,让每一次测量都确信无疑。
无损改装,广泛兼容无需淘汰您昂贵的金相显微镜! NS-Micro 采用标准模块化设计,完美适配Olympus、Nikon、Leica、Zeiss等主流品牌的金相或立体显微镜。即插即用,低成本升级,让老设备焕发新生。
高倍率算法修正 (NA Correction)显微测量中,高倍物镜的大数值孔径(NA)往往会导致入射角偏差。 NS-Micro 内置专用的NA 修正算法,智能补偿大角度入射带来的光程差,确保在 50X、100X 高倍物镜下,依然能获得亚纳米级的测量精度。
NS-Micro 的诞生,为以下高精尖领域提供了全新的测量方案:
??半导体制造
图形化晶圆:直接测量划片槽(Scribe Line)内的氧化物/氮化物薄膜。
光刻工艺:监控微小图形上的光刻胶厚度。
??新型显示
Micro-OLED/LED:精准测量像素点内的 ITO 阳极或 TFE 封装层。
面板结构:分析黑矩阵间隙中的彩色滤光片(CF)厚度。
??微流控与 MEMS
生物芯片:穿透盖板,测量微通道内部的疏水涂层(如 Parylene)。
MEMS 结构:无损测量悬臂梁、深槽底部的绝缘层。
??医疗器械
血管支架:监控药物洗脱支架表面的超薄药物涂层。
微细管材:测量导丝等曲面微小样品的表面镀层。
NS-Micro 沿用了悉识科技广受好评的PolarX 分析软件。
一键测量:友好的交互界面,新手也能快速上手。
强大算法:FFT 厚膜算法 + 拟合薄膜算法,覆盖 nm 至 μm 级全量程。
数据互通:与 NS-20/OEM 共享材料数据库,研发到产线无缝衔接。
NS-Micro 现已开放咨询与演示!如果您正在为微小区域的膜厚测量感到困扰,欢迎联系我们,悉识科技应用工程师将为您提供免费的样品测试服务。
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