微透镜阵列既可用于激光分束，也可以用于激光匀束。我们先比较平顶整形和匀束的四种方案，这四种方案分别是平顶光束整形[flat-top beam shaping,亦称为top-hat beam shaping, 或super-Gaussian(超高斯) beam shaping]，无暗斑匀束元件，漫射扩散器（diffuser)匀束以及微透镜阵列匀束。
平顶光束整形的使用条件比较苛刻，要求激光的光束质量好，衍射光学元件必须放在激光束特定的位置，激光束落在衍射光学元件的尺寸必须比较准确。如果这些条件都满足，则使用效果良好。
无暗斑匀束元件和漫射扩散器的使用条件则比平顶光束宽松得多。漫射扩散器允许很差的入射激光光束质量，可以在任意位置使用，激光束落在漫射扩散器尺寸对使用效果的影响也很小，可以在很长距离内得到匀束的效果。对于高功率的激光材料加工，我们推荐使用漫射扩散器匀束方案。无暗斑匀束元件和漫射扩散元件的区别在于前者的输出光束中没有明显的暗斑(speckles)，而后者在输出光束中存在暗斑(speckles)。
微透镜阵列用于匀束的的优点是可用于宽广的波长范围，以及匀束后的输出光束的中 央没有很亮零级。
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