国家标准《洁净室及相关受控环境空气化学污染控制技术要求》GB/T 36306-2024由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)提出并归口，中国电子工程设计院股份有限公司、中国电子系统工程第三建设有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国科学院大气物理研究所、深圳市技术有限公司、天津大学等单位共同起草。2018年首次发布为GB/T 36306-2018，本次为第一次修订。
本文件代替GB/T 36306-2018《洁净室及相关受控环境空气化学污染控制指南》，与GB/T 36306-2018相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下:
a)更改了标准适用范围(见第1章，2018年版的第1章)；
b)删除了空气分子污染、环境反应监测法、污染物、气相空气净化装置等术语(见2018年版的3.1、3.2、3.3、3.4)；
c)增加了按化学物浓度划分空气洁净度、释出气体等术语(见3.1、3.3)；
d)更改了空气化学污染物的定义(见3.2，2018年版的3.5)；
e)更改及增加了污染源来源(见4.1、4.2,2018年版的4.1)，删除了分级与分类(见2018年版的4.2)；
f)增加了一般要求、设计、施工及运行维护等空气化学污染控制内容(见 5.1、5.2、5.3、5.4)，删除了确定是否污染及情况、控制措施的内容(见2018年版的6.1、6.2)；
g)更改标题“检测”为“检测与监测”(见第6章，2018年版的第5章)，更改了检测的内容(见6.1,2018年版的5.1、5.2)，增加了监测的内容(见6.2)。
本文件的空气化学污染控制技术主要针对有空气化学污染控制要求的洁净室及相关受控环境。空气化学污染物的分子尺寸范围为0.1nm~3nm，通常状态下是以气体或蒸气形态存在，常规高效过滤器和超高效过滤器无法有效去除，使用粒子计数器也检测不到。
空气化学污染物种类较多，不同污染物具有不同的化学性质，某些污染物的浓度可随环境的温度、湿度变化而改变，且污染物来源具有很大的随机性。随着净化技术和材料的发展，空气化学污染物可以被有效控制和去除，能够保障洁净室及相关受控环境内空气化学污染物满足环境限定要求。
国际器件与系统路线图(IRDS)晶圆环境污染控制数据表
作为洁净技术应用综合解决方案提供商，提供的解决方案在电子半导体等多个领域都有广泛应用，为众多客户提供了稳定、合规、绿色的洁净环境。未来将继续深度参与构架标准化建设，积极促进标准的落地执行，促进洁净产业高质量发展，为高端制程工艺保驾护航。
洁净技术应用综合解决方案提供商
400-888-7926 / 0755-27799805
全部评论(0条)
相关产品推荐（★较多用户关注☆）
美国TSI大流量尘埃粒子计数器9110
报价：面议 已咨询 1249次
美国TSI大流量尘埃粒子计数器9510
报价：面议 已咨询 1075次
美国TSI大流量尘埃粒子计数器9310
报价：面议 已咨询 1333次
美国TSI 大流量尘埃粒子计数器9550
报价：面议 已咨询 1050次
美国TSI 大流量尘埃粒子计数器9350
报价：面议 已咨询 1112次
美国TSI大流量粒子计数器9500
报价：面议 已咨询 1362次
美国TSI 手持式尘埃粒子计数器9303
报价：面议 已咨询 1420次
美国TSI 手持式尘埃粒子计数器9306-V2
报价：面议 已咨询 1116次
你可能还想看
①本文由仪器网入驻的作者或注册的会员撰写并发布，观点仅代表作者本人，不代表仪器网立场。若内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们立即通知作者，并马上删除。
②凡本网注明"来源：仪器网"的所有作品，版权均属于仪器网，转载时须经本网同意，并请注明仪器网(www.yiqi.com)。
③本网转载并注明来源的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品来源，并自负版权等法律责任。
④若本站内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱：hezou_yiqi
热点文章
智感天地 守护生态：高智能一体化生态气象监测系统赋能绿色发展
近期话题
相关产品
在线留言
沪公网安备 31011502008050号
参与评论
登录后参与评论