随着科技的快速发展,污染源类型日益呈现出多元化、动态化的特征。在洁净室环境中,气态分子污染物(AMC)已成为继空气悬浮粒子之后又一个影响环境质量的关键因素。洁净室内存在各种AMC的释放源,其污染物释气对洁净室及相关受控环境的质量具有决定性影响。因此,控制洁净室内的AMC浓度,是提升产品良品率的关键。目前,针对这项污染物的检测与评估工作正愈发受到关注。
材料释气检测关注的核心点
根据国际标准ISO 14644-8和国家标准GB/T 36066,洁净室中的空气化学污染物可分为八类:酸、碱、有机物、生物毒素、可凝聚物、腐蚀物、掺杂物和氧化物。空气化学污染物可能导致半导体晶圆表面的污染、腐蚀导线连接等问题,进而危及产品质量。因此,控制微电子洁净室内的AMC浓度,是提升产品良品率的关键。
洁净(微)环境用材料是洁净室及相关受控环境中AMC的重要来源之一,应重点关注的材料包括环氧自流平、油漆、密封胶、涂料、胶粘剂、复合材料、洁净耗材和化学过滤器等。材料释气检测和评估是判断材料和设备是否满足洁净室AMC控制要求的重要手段,是实现空气化学污染控制的关键保障措施。
释气检测的相关标准
JACA NO.34《洁净室构成材料产生的分子污染物测量指南 洁净室建筑/组合材料排放的空气分子污染物评估标准》
GB/T 25915.15《洁净室及相关受控环境第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性》
ISO 16000-9《Indoor air Part 9:Determination of the emission of volatile organic compounds from samples of building products and furnishing-Emission test chamber method》
VDI 2083-17《Reinraumtechnik Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen
Cleanroom technology Compatibility of materials with the required cleanliness》
ASTM E595《Standard Test Method forTotal Mass Loss and Collected Volatile Condensable Materials from Outgassing in a Vacuum Environment》
释气检测的流程
材料释气评估报告样例
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