仪器网>知识百科>气相沉积系统更新时间：2025-12-19 05:08:53

气相沉积系统百科

导读: 气相沉积系统是一种用于数学领域的分析仪器。气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，改变工件表面成分，在表面形成具有特殊性能(例如超硬耐磨层或具有特殊的光学、电学性能)的金属或化合物涂层的新技术。

目录: 1气相沉积系统原理 2气相沉积系统特点 3气相沉积系统技术类型 4气相沉积系统应用 5气相沉积系统分类 6气相沉积系统技术指标

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1气相沉积系统原理

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气相沉积技术概述: 气相沉积技术是对气相中发生的物理、化学过程加以利用，对工件表面成分进行改变，使得具有特殊性能(例如超硬耐磨层或具有特殊的光学、电学性能)的金属或化合物涂层在表面形成的新技术。

2气相沉积系统特点

百科

气相沉积特点: 化学气相沉积为一种化工技术，在衬底表面上含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质进行化学反应使得薄膜生成为该技术的主要方法。近几十年化学气相淀积这种对无机材料进行制备的新技术发展了起来。

气相沉积系统特点

3气相沉积系统技术类型

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气相沉积技术相关争论: 气相沉积技术是对气相中发生的物理、化学过程加以利用，对工件表面成分进行改变，使得具有特殊性能(例如超硬耐磨层或具有特殊的光学、电学性能)的金属或化合物涂层在表面形成的新技术。

气相沉积技术类型

4气相沉积系统应用

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化学气相沉积应用: 化学气相沉积为一种化工技术，在衬底表面上含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质进行化学反应使得薄膜生成为该技术的主要方法。近几十年化学气相淀积这种对无机材料进行制备的新技术发展了起来。

5气相沉积系统分类

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气相沉积技术分类: 气相沉积技术是对气相中发生的物理、化学过程加以利用，对工件表面成分进行改变，使得具有特殊性能(例如超硬耐磨层或具有特殊的光学、电学性能)的金属或化合物涂层在表面形成的新技术。

6气相沉积系统技术指标

百科

化学气相沉积技术指标和应用: 化学气相沉积为一种化工技术，在衬底表面上含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质进行化学反应使得薄膜生成为该技术的主要方法。近几十年化学气相淀积这种对无机材料进行制备的新技术发展了起来。

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