化学气相沉积分类

化学气相沉积为一种化工技术，在衬底表面上含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质进行化学反应使得薄膜生成为该技术的主要方法。近几十年化学气相淀积这种对无机材料进行制备的新技术发展了起来。化学气相淀积法已经在各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料的淀积，新晶体的研制以及物质的提纯方便得到了非常广泛地应用。这些材料既能够是碳化物、氮化物、硫化物、氧化物也能够为III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，并且能够利用气相掺杂的淀积过程来对它们的物理功能进行精确地控制。化学气相淀积已经变成无机合成化学的一个新领域。

化学气相沉积分类

根据化学反应形式能够将热化学气相沉积分成合成反应法、热解法以及化学输运法三大类。

1、合成反应法

几种气体物质在生长区内反应使得所生长物质生成的过程，以上三种方法，化学输运法通常在块状晶体生长时被使用，分解反应法一般在薄膜材料生长时被使用，上述两种情况均可以使用合成反应法。比Si,Cae,GaAs,InP等各种氧化物和其它材料。

2、热解法

往生长区输运含有构成薄膜元素的某种易挥发物质。利用热分解反应使所需物质生成，1000-1050摄氏度为其生长温度。

3、化学输运法

构成薄膜物质在源区和另一种固体或液体物质发生反应使气体生成，之后往一定温度下的生长区输运，利用相反的热反应使所需材料生成，晶体生长过程的热反应为逆反应，输运过程的热反应为正反应。