化学气相沉积应用和沉淀方法

化学气相沉积为一种化工技术，在衬底表面上含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质进行化学反应使得薄膜生成为该技术的主要方法。近几十年化学气相淀积这种对无机材料进行制备的新技术发展了起来。化学气相淀积法已经在各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料的淀积，新晶体的研制以及物质的提纯方便得到了非常广泛地应用。这些材料既能够是碳化物、氮化物、硫化物、氧化物也能够为III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，并且能够利用气相掺杂的淀积过程来对它们的物理功能进行精确地控制。化学气相淀积已经变成无机合成化学的一个新领域。

化学气相沉积应用

热解化学气相沉积法合成金刚石薄膜的特点是：

1、薄膜晶粒在某些生长条件下会有一定程度的择优取向出现。

2、在多种薄膜组织中，浮凸组织和栗状组织zui为疏松，而尖角组织zui为致密。

3、zui为粗糙的为尖角组织和栗状组织，zui为平整的是四方形组织和微晶组织表面。

4、通过金刚石结构的晶粒组成所有组织的金刚石薄膜，晶粒度在0.1-10微米之间。

5、微细的金刚石微粉组成聚晶，一定形状的聚晶组成某些薄膜，单晶或孪晶组成某些金刚石薄膜。

6、组成薄膜的晶粒大部分具有（111）及（100）的习惯面。

化学气相沉积沉淀方法

热化学气相沉积的范围包含如金属有机化学气相沉积、氯化物化学气相沉积、氢化物化学气相沉积等广泛应用的TCVD技术。