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在半导体、硬盘、平板显示器的制造赛道上,环境把控是不容有失的生命线 —— 一丝一毫的质量缺陷,都可能转化为难以估量的经济损失。而守住这条生命线的关键,就是对洁净车间、工艺核心区的环境粒子,进行毫厘不差的测量与计数。
TSI,拥有近 60 年高灵敏度粒子计数器研发经验,是行业内名副其实的 “老牌标杆”。其仪器凭借无可挑剔的准确性、重复性与可靠性,成为全球多国国家级标准实验室的信赖之选。
可精确测量0.100μm的粒子,粒径范围为0.100至10.0 μm,可同时检测多达八个通道的粒子数据,1.0 CFM (28.3 L/min)流速,能够满足半导体洁净室应用的苛刻要求。
应用领域
? 洁净窒微粒子监测,过程监控和过滤器测试
? I 级和 II 级无尘室检测
? 适用于单机运行或集成到设施监控系统
特点与优势
精确检测0.100 μm的粒子
0.100至10.0 μm粒径范围
可同时检测多达八个通道的粒子数据
1.0 CFM (28.3 L/min)流速
符合ISO 21501-4标准中所有要求
I级和II级无尘室检测最佳选择
完全符合ISO 21501-4要求
可生成ISO-14644-1,EU GMP Annex1和FS209E的符合性报告
通过TRAKPRO Lite Secure软件输出的外部认证报告
采用增强HeNe激光
高可重复和高可靠检测/数据
数据存储:250区,999个位置和10,000个样本
USB、以太网和脉冲输出
工业级高分贝报警
允许存储和回放特定测试/配置
显示多达三个环境参数
不锈钢外壳
无缝整合M32-01多点采样器
无尘室分类达到ISO I级
9110型可以通过打印机和配套的TrakProTM LiteSecure下载软件生成符合ISO 14644-1标准的通过或非符合的报告。它不仅可以作为单机粒子计数器使用,也可以集成于在线粒子监测系统。是市面上唯一一款提供此售后保证的便携式 0.100μm 粒子计数器。
对于半导体制造而言,洁净度就是生命线 —— 不仅关系到洁净室是否合规,更直接决定最终产品品质。唯有实现无污染生产,才能从源头减少缺陷、降低良率损失,让设备运行更稳定可靠。
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关于亿天净化
深圳市亿天净化技术有限公司成立于 2005 年,是一家专注洁净技术领域的国家高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业,一直致力于受控空气环境品质的发展。公司以空气净化产品的研发、生产与销售为核心,聚焦电子半导体、生物制药、食品安全、医疗疾控、环保等领域,为客户提供覆盖新风、循环风、排风全场景的空气质量综合解决方案,服务贯穿 “诊断、检测、监测、控制” 全链路,可精准应对粉尘颗粒物、气态污染物(AMC)、病毒微生物等污染问题,同时提供检测仪器、智能监测系统等核心产品及工艺制程、工艺水系统、室外污染源排放的监测控制整体解决方案,以 “数据精准、产品可靠” 树立行业标杆。
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