氦质谱检漏仪超高真空系统检漏

上海伯东德国 Pfeiffer 便携式检漏仪 ASM 310 成功应用于超高真空系统检漏

检漏原因: 超高真空 Ultra-high vacuum, 真空度一般 < E-7 mbar, 在超高真空的环境下可以进行材料催化, 晶体生长,粒子加速等实验, 为保证较高的真空度, 需要对整个真空系统的焊缝, 法兰口等怀疑有漏的地方进行泄漏检测. 为保证实验腔体的清洁干燥, 不能出现油气污染等情况的发生, 因此需要选择内部集成干泵的检漏仪.


检漏方法: 如上图所示, 采用真空法检漏, 检漏仪通过波纹管与真空腔体连接, 在怀疑有漏的地方喷氦气, 如果检漏仪报警, 说明此处有漏.
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上海伯东 Pfeiffer 便携式检漏仪 ASM 310 主要参数:

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