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阻抗变化显微镜TIVA
产品简介：
Semicaps是一家先进的芯片漏电定位设备制造商，公司产品涵括正置、倒置、静态、动态各种应用的机型，世界TOP50的半导体公司很多是他的客户。在Lock in信号增强技术和SIL镜头（纳米线宽侦测）技术领域，位于行业前列。2013年Semicaps和仪准合作正式进入中国，凭借着产品的先进性、合理的价格以及完善的售后服务体系，迅速得到中国广大客户的认可。
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漏电定位手段有三种
1、侦测光子（EMMI) 2、激光刺激侦测阻抗变化(TIVA&VBA） 3、侦测热（Thermal） |
产品特性 ● 可用于晶片、晶片零件 和封装期间的正反面分析 ● 高稳定的系统可探测出FIB镀出的测试盘 ● 兼容第三方的探测站、探测板和探测臂 ● 高分辨率工作台，重复精度达到0.5μm ● 可选中心折射和屈光的固体浸入式镜头（RSIL专利） ● 可选CAD接口 ● 兼容热管理解决方案 ● 技术配备包含以下几种 ● 激光定时抬头（LTP） ● 高敏感度的激光扫描光学显微镜（SOM） 静态：TIVA, OBIRCH 动态：LADA, SDL ● 光发射显微镜 （PEM），可选InGaAs 或者 Si-CCD摄像头 ● 热显微镜（THM），配备InSb摄像头 |
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具体规格如下：
Si探测器 | 采集晶片 | 硅基芯片 |
像素 | 1024 × 1024 pixel | |
像素尺寸 | 13 微米 × 13 微米 | |
晶片尺寸 | 13.3毫米 × 13.3 毫米 | |
噪音 | 6 electrons rms | |
冷却方式 | 电制冷+水冷 | |
探测器晶片低降温 | -70°C | |
冷却时间 | 小于10分钟（常温至-70°C） | |
InGaAs探测器 | 采集晶片 | 铟砷化镓晶片 |
像素 | 640 × 512 pixel | |
像素尺寸 | 20 微米 x 20 微米 | |
晶片尺寸 | 12.8毫米 x 10.24 毫米 | |
冷却方式 | 电制冷+水冷 | |
探测器晶片低降温 | -70°C | |
冷却时间 | 小于10分钟（常温至-70°C） | |
Thermal探测器 | 晶片类型 | MCT |
像素 | 640 × 512 pixel | |
像素尺寸 | 15 微米 | |
晶片尺寸 | 9.6 毫米 x 7.68 毫米 | |
冷却方式 | Stirling cooled | |
探测器晶片低降温 | 80k | |
TIVA模块 | 激光部分 | 激光能量：500毫瓦 |
电流源部分 | 配置Keithely2450规格如下： | |
主控台 | 移动方式 | 电脑+手摇杆双控制 |
X-Y-Z移动范围 | 50*50*100 毫米 | |
X-Y移动解析度 | 0.1微米 | |
Z移动解析度 | 0.02微米 | |
光学显微镜 | 品牌 | Semicaps定制 |
目镜 | 10X一对 | |
物镜 | 2.5x,5x,20x,HR50x(100x选配） | |
探针台 | 尺寸 | 6、8、12寸单双面探针台可选 |
电压范围 | 3000V以下可选 | |
电流范围 | 直流10A以内；脉冲40A以内可选 | |
探针座移动精度 | 0.7微米 | |
减震台 | 减震方式 | 大理石+减震气囊双防震系统 |
减震效果 | 97%@10Hz |
SEMICAPS SOM 1100
立式热点检测微光显微镜
InGaAs 探测器 | 采集晶片 | 铟砷化镓晶片 |
像素 | 640*512 pixel | |
像素尺寸 | 20 微米×20 微米 | |
晶片尺寸 | 12.8 毫米 x 10.24 毫米 | |
冷却方式 | 电制冷+水冷 | |
探测器晶片最*低降温 | -70°C | |
冷却时间 | 小于 10 分钟（常温至-70°C） | |
TIVA 模块 | 激光部分 | 激光脉冲能量：500mW |
电流源部分 | 配置 Keithely2450 规格如下： | |
主控台 | 移动方式 | 电脑+手摇杆双控制 |
X-Y-Z 移动范围 | 50*50*100 毫米 | |
X-Y 移动解析度 | 0.1 微米 | |
Z 移动解析度 | 0.02 微米 | |
光学显微镜 | 品牌 | Semicaps 定制 |
目镜 | 10X 一对 | |
物镜 | 2.5x,5x,20x,HR50x(100x 选配） | |
探针台 | 尺寸 | 6、8、12 寸单双面探针台可选 |
电压范围 | 3000V 以下可选 | |
电流范围 | 直流 10A 以内；脉冲 40A 以内可选 | |
探针座移动精度 | 0.7 微米 | |
减震台 | 减震方式 | 大理石+减震气囊双防震系统 |
减震效果 | 97%@10Hz |
- 产品分类
- 品牌分类
- （新加坡）Semicaps
- （美国）赛默飞世尔
- （荷兰）JIACO
- （日本）日本滨松
- （日本）SAMCO
- （苏州）蓝岸
- （日本）尼康
- （美国）若克兰
- （英国）微视
- （美国）SONIX
- （美国）美国Allied
- （美国）ASP
- （美国）Nisene
- （日本）日立
- （英国）英国ABERLINK
- （德国）德国werth
- （美国）美国福禄克
- （奥地利）奥地利EMCOTEST
- （日本）日本奥林巴斯
- （美国）美国OGP
- （德国）捷镭
- （美国）美国Akrometrix
- （朝阳区）微厘光电
- （德国）Microtronic
- （西青区）奥特梅尔
- （新加坡）AXIS-TEC
- （以色列）SELA
- （英国）牛津仪器
-
仪企号
似空科学仪器（上海）有限公司
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