Interference Correction在定量分析中的使用方法

重叠峰的剥离是电子探针分析的难点之一。例如，TiN 作为涂层材料经常被要求给出准确的定量分析数据。
N Kα 和 Ti Ll 线系相差仅 3eV（N Ka=0.392keV；Ti Ll=0.395keV），即使当前Z高级别的电子探针波谱仪也无法将二者分开。忽略 Ti Ll 线系对 N Kα 线的“贡献”会造成定量分析结果的严重偏差。日本电子的探针提供一个标准软件（Interference Correction），可以很好的解决这一问题。