软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了极高的能量分辨率。
和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的极高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

系统简介

zuixin开发设计的分光系统，不需移动衍射光栅或检测器（CCD）就能同时获取不同能量的谱图。而且由于能量分辨率很高，还可以采集状态分析分佈图

SXES、WDS、EDS的比较

各种分光方法中氮化钛样品的谱图

即使在WDS分析中氮化钛的谱峰也發生重叠，需要采取去卷积的数学方法处理。如下图所示，SXES具有很高的能量分辨率。

比较表

锂离子二次电池（LIB）分析实例

能观察到LIB的充电量

充满电后Li-K样品的谱图

说明: 由于理论上的原因，氧化锂的检测很困难
 

轻元素的测试实例

SXES测试碳素化合物的实例

可以测试金刚石、石墨、聚合物的不同。

各种氮素化合物的测试实例

氮素也可以根据波形分析化学结合状态。 硝酸盐和氮化物的波形完全不同，还能观察到易受电子束损伤的铵盐的独特波形。

产品规格

能量分辨率0.3eV（Al-L 光谱图73eV处测试）

获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区50-170eV

获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区70-210eV

分光谱仪艙安装位置：

EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右侧）

FE-SEM的WDS接口（正面左后侧）

分光谱仪尺寸　W 168mm×D 348mm ×H 683mm

* 从接口包括CCD的距离

分光谱仪重量　25kg

适用机型

EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200

SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F