结构紧凑,性能高
与现有型号相比,减少了20%的体积。
标配可变压力模式。
保证30 kV电压时,二次电子3.0 nm的分辨率, 背散射电子4.0 nm(6帕)
可满足直径153 mm,高60 mm的样品
采用TMP真空系统,节省占地面积和电源功耗。
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