产品简介

日立高分辨冷场发射扫描电镜 Regulus8100

Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜的全新系列，Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点，进一步提高性能，1kV减速模式下高分辨率达到了0.8nm，15kV达到0.7nm，高低电压均可满足高分辨的观察。

功能特点

1. 配备电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能

2. SE与BSE任意比例搭配功能

样品：ALTIC基板

加速电压：1kv

倍率：2万倍

应用领域

1. 纳米材料

2. 半导体器件

3. 高分子材料

4. 生物医学

5. 新能源