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电子束曝光系统(纳米图形发生系统)价格:面议
- 品牌: 美国JC Nabity
- 型号:NPGS
- 产地:美国
在过去的几年中,半导体器件和IC生产等微电子技术已发展到深亚微米阶段及纳米阶段。为了追求晶片更高的运算速度与更高的效能,三十多年来,半导体产业遵循著摩尔定律(Moore’s Law):每十八个月单一晶...
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美国JC Nabity
电子束曝光系统(electron beam lithography, EBL)是一种利用电子束在工件面上扫描直接产生图形的装置。由于SEM、STEM及FIB的工作方式与电子束曝光机十分相近,美国JC Nabity Lithography Systems