等离子设备

Tetra 30 等离子系统主要应用于以下领域：

• 分析 (REM, TEM)

• 考古

• 汽车行业

• 生物技术

• 弹性体技术

• 电子技术

• 电子显微镜

• 精密工程

• 研究和开发

• 半导体技术

• 小批量生产

• 塑料技术

• 医疗技术

• 微系统技术

• 太阳能电池技术

• 纺织技术

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概况介绍 TETRA 30

基本设备

• 根据具体组件/选装件，外壳规格会有所不同

• 腔室容积：根据具体版本，分为 34 - 57 升

• 供电电源： 230 V 或者 400 V / 3 相位

气源

• 质量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

• 矩形不锈钢件，配有铰链的门
  （约宽 305 mm、高 300 mm x 深 370 mm 或者 625 mm）

装载件

• 产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

电极

• 单层或多层

• 具有气体喷淋的 RIE 电极

控制系统

• PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)

• PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

压力测量

• Pirani

• Baratron（适用于腐蚀性气体版本）

计时器

• 数字型

发生器

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

• 规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）

其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。