详细介绍
Nanonex纳米压印系统NX-2500
产品特点:
1、 热塑化
2、 紫外固化
3、 热压与紫外压印同时进行
4、 热固化
5、气垫软压技术(ACP)
6、NanonexZG技术
7、 WM的整片基板纳米压印 均匀性
8、高通量
9、低于10nm分辨率
10、亚1微米对准精度
11、快速工艺循环时间(小于60秒) 灵活性
12、4″, 6″, or 8″压印面积可选择各种尺寸及不规则形状模板与基板均可压印
13、方便用户操作
14、基于超过12年、15代产品开发经验的自动化压印操作,Nanonex压印系统经过大量实时实地验证,质量可靠,性能优越稳定
15、全自动纳米压印
规格参数:
1、热塑压印模块
温度范围0~250oC
加热速度>300oC/分钟
制冷速度>150oC/分钟
压力范围0 ~ 3.8 MPa(550 psi)
2、紫外固化模块
200W窄带紫外光源
365纳米或395纳米波长可选
全自动化控制
3、对准模块
<1μm 3σ对准准确率
X, Y, Z, Theta平台
分场光学和CCD相机
4、模版装载功能
4″/5″/6″模版可用于标配纳米压印
5、系统
8”模板可升级
6、基板装载
标配纳米压印系统可装载4″基板
6″和8″基板可选
各种尺寸及不规则形状模板及基
7、板均可压印
独特ZG保护ACP技术可限
8、度保护基板和模板,特别对于象磷化铟(InP)等极易碎模板和 基板给予限度保护。
- 产品分类
- 品牌分类
- (法国)OZ Biosciences
- (日本)旭日
- (深圳)泓腾
- (德国)艾卡
- (德国)德国WIGGENS
- (韩国)韩国CURIOSIS
- (德国)德国Memmert
- (法国)菲利亚斯
- (英国)英国Nickel-Electro
- (澳大利亚)澳大利亚Labwit
- (美国)美国CDC
- (英国)英国IT-IS
- (法国)法国Elveflow
- (美国)美国Sonaer
- (德国)德国KNF
- (韩国)哈尼儿
- (日本)日本星崎
- (美国)美国Scientific Industries
- (英国)英国格兰特
- (新北)群达
- (高雄)台湾洛科仪器
- (韩国)芬托赛恩斯
- (德国)德国伯托
- (济南)拜尔贝斯
- (奥地利)Kilobaser
- (日本)卡库函特
- (荷兰)荷兰Phenospex
- (美国)兰瑟
- (德国)OLS
- (法国)兰尔荷洛基
- (德国)德国SPS-保罗
- (美国)耐洛奈克斯
- (浦东新区)上海润度
- (台北)亚克斯
- (日本)玛撒
- (美国)艾尔赛恩斯
- (意大利)厄瑞杜
- (美国)艾库刍尔
- (瑞典)瑟林克
- (美国)伊刃
- (美国)斯特洛比克
- (无锡)雷博
- (加拿大)耐诺赛斯
- (美国)恩格耐雷欣
- (意大利)斯堤克
- (美国)美国YES
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仪企号上海迹亚国际商贸有限公司
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