Nanonex纳米压印系统NX-2500

Nanonex纳米压印系统NX-2500

产品特点：
1、 热塑化
2、 紫外固化
3、 热压与紫外压印同时进行
4、 热固化
5、气垫软压技术(ACP)
6、NanonexZG技术
7、 WM的整片基板纳米压印 均匀性
8、高通量
9、低于10nm分辨率
10、亚1微米对准精度
11、快速工艺循环时间（小于60秒） 灵活性
12、4″, 6″, or 8″压印面积可选择各种尺寸及不规则形状模板与基板均可压印
13、方便用户操作
14、基于超过12年、15代产品开发经验的自动化压印操作，Nanonex压印系统经过大量实时实地验证，质量可靠，性能优越稳定
15、全自动纳米压印

规格参数：
1、热塑压印模块
      温度范围0～250oC
      加热速度>300oC/分钟
      制冷速度>150oC/分钟
      压力范围0 ～ 3.8 MPa（550 psi）
2、紫外固化模块
      200W窄带紫外光源
      365纳米或395纳米波长可选
      全自动化控制
3、对准模块
     <1μm 3σ对准准确率
     X, Y, Z, Theta平台
    分场光学和CCD相机
4、模版装载功能
     4″/5″/6″模版可用于标配纳米压印
5、系统
     8”模板可升级
6、基板装载
     标配纳米压印系统可装载4″基板
     6″和8″基板可选
     各种尺寸及不规则形状模板及基
7、板均可压印
     独特ZG保护ACP技术可限
8、度保护基板和模板，特别对于象磷化铟（InP）等极易碎模板和 基板给予限度保护。