反射式膜厚仪 QUASAR-R100系列

 QUASAR-R100 是一款体积小巧的光谱反射式膜厚、折射率测量仪器，操作简单，极易上手，应用广泛，快速准确的提供各种薄膜厚度的测量，如氧化物、氮化物、多晶硅、非晶硅、聚酰亚胺、透明导电层、光刻胶等介质薄膜、半导体薄膜以及各种涂层。

产品特点

多参数测量

可测量材料厚度、折射率（Refractive Index）、 消光系数（Extinction Coefficient）和反射率。

各种形状样品测量

可测量例如4~8英寸的晶圆、方形样品或其他各种不规则形状样品。

软件功能丰富

友善的用户界面以及灵活丰富的软件功能，各种丰富的数据分析及查看功能。

简单、易用

测量流程简单，用户极易上手建立测量程式。

产品参数

★Si基底上对厚度约500nm的SiO2薄膜样品连续测量30次数据的标准偏差

定制功能

• 可根据客户需求搭配自动运动平台

• 可根据客户需求配置小光斑