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便携式光学膜厚仪
- 品牌:希腊ThetaMetrisis
- 型号: FR-Portable
- 产地:欧洲 希腊
- 供应商报价:面议
- 武汉迈可诺科技有限公司 更新时间:2024-08-02 13:46:35
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销售范围售全国
入驻年限第7年
营业执照已审核
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详细介绍
FR-portable 便携式膜厚仪主要由以下系统组成:
Α白炽-LED混合集成式光源系统,通过内嵌式微处理器控制,使用寿命超过20000小时。
小型光谱仪,光谱范围370nm –1050nm,分辨精度可达3648像素, 16位级 A/D 分辨精度;配有USB通讯接口;
Β) FR-Monitor膜厚测试软件系统,
可精确计算如下参数:
1)单一或堆积膜层的厚度;
2)静态或动态模式下,单一膜层的折射率;本软件包含了类型丰富的材料折射率数据库,可以有效地协助用户进行线下或者在线测试分析。本系统可支持吸收率,透射率和反射率的测量,还提供任何堆积膜层的理论性反射光谱,一次使用授权,即可安装在任何其他电脑上作膜厚测试后的结果分析使用。
C) 参考样片:
a) 经校准过的反射标准硅片;
b) 经校准过的带有SiO2/Si 特征区域的样片;
c) 经校准过的带有Si3N4/SiO2/Si特征区域的样片;
D) 反射探针台和样片夹具
可处理最大的样品尺寸达200mm, 包含不规则的尺寸等;
手动调节可测量高度可达50mm;
可针对更大尺寸订制样片夹具;
Ε) 反射率测量的光学探针
内嵌系统6组透射光探针200μm, 1组反射光探针200μm;
F) 附件
FR-portable透射率测量套件;
Thickness measurement range
12nm – 90μm
Refractive Index calculation
P
Thickness measurement Accuracy
0.2% or 1nm
Thickness measurement Precision
0.04nm or 1‰ (0.01nm)
Thickness measurement stability
0.02nm
Sample size
1mm to 200mm and up
Spectral Range
400nm – 1100nm
Working distance
3mm-20mm
Spot size
0.35mm (diameter of the reflectance area)
Light Source Lifetime
20000h
Wavelength resolution
0.8nm
Number of Layers Measured
Max. 5 layers
Measurement time (max acquisition speed)
10ms/point
A/D converter
16 bit
Power
USB – supplied
Dimensions
300mm x 110mm x 40mm