详细介绍
设备控温范围：-80℃~200℃
Chuck盘面控制温度：-60℃
温度稳定性：±0.1℃
制冷系统：采用双极压缩制冷系统
定制：可按要求定制-60℃液冷制冷机
| 型号 | 液冷制冷机 |
| 设备名称 | PTHC系列低温液冷机 |
| 制冷方式 | 双级复叠制冷 |
| 操作面板 | 7英寸彩色触摸屏，中文显示，操作简便 、显示直观， 可显示 、记录 温度曲线和测试数据 |
| 载冷剂 | 氟化液或硅油 |
| 全密闭系统 | 管道材质：SUS304，采用全密闭式结构设计 |
| 介质温度范围 | -80℃ ~ 200℃ |
| 温度精度 | 出口温度±0.5 ℃ |
| 温度稳定性 | ± 0.1 ℃ |
| 温度反馈 | 设备导热介质温度反馈PT100 (回口温度 、 出口温度) ，控晶圆测试chuck盘温度 |
| 控温对象 | 设备导热介质出口温度 (可选择控制物料温度) |
| 显示分辨率 | 0.01K |
| 通信协议 | MODBUS RTU协议、RS 485接口+以太网接口 |
| 外部输入 | 外置测温传感器端口 、USB数据接口 |
| 存储功能 | 试验执行时， 可实时显示图形曲线， 显示内容；温度设定实际值，执 行程序周期，程序执行中具有跳文件，保持功能。 |
| 冷凝方式 | 风冷 |
| 安全防护 | 设备运行状态实时显示，故障信息自动诊断， 多项报警保护： 电源故 障 ，压缩机过载 、循环泵热过载 、制冷低压报警 、 制冷高压报警 、超 温 、温度模块故障 、 电加热防干烧设计等保护功能。 |
产品优势
应用于晶圆测试的高低温冷热台（晶圆测试载物台）chuck的加热制冷控温，载冷剂采用硅油或氟化液循环精确控温，液冷制冷机主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的加热与冷却，向外界输送载热流体，满足工艺条件。
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仪企号
普泰克(上海)制冷设备技术有限公司
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