• X射线能谱仪 
X射线能谱仪进行成分分析时，一般有三种基本的工作方式，分别为：定点分析、线扫、面扫。根据不同的测试目的，可以选择相应的分析模式。当测试样品为非均质样品时，可以使用线扫、面扫得到非常直观的结果。X射线能谱仪主要用途：1.表面定性与定量分析。2.维持10um以下的空间分辨率元素成分包括化学态的深度分析。3.成像功能。4.可进行样品的原位处理。
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