测量显微镜原理

　　测量显微镜主要使用于电子工业、五金行业、以及一些精密工程，在塑胶行业和YL业，生物物医学、GA系统等等有广泛的应用，特别是在电子工业比如观察电路板的构造，观察零件直接的精确距离，是不可缺少的精密仪器。

　　测量显微镜，历史上是以准确的倍率把工件形状放大以后，通过与模板进行象面比对，进行测量、检查的显微镜。因此，测量显微镜与通常的观察用显微镜不同，它采用与轮廓投影仪相同的远心光路系统，其物镜倍率也很准确。

　　近年来，使用CCD并辅以必要的测量软件，测量显微镜不仅可以对所摄取的工件视频图象进行窗内坐标测量，依靠测量载物台带动工件移动，还可以实现超视窗的坐标测量，这已经成为它的主流用法。为了适应这种需求，载物台的行程需要更大，计算机数据处理功能也需要更强。

　　另外，随着测量显微镜光学系统制作倍率的更加准确，也可以组合使用具有高倍率观察、微分干涉观察、简易偏光观察等功能的通用型光学头。在高倍率观察时，还可以使用FA(辅助对焦)镜筒进行高度测量，可以通过缩小视在的景深，提高Z轴方向测量的重复精度。测量显微镜配上数码相机，还可以拍摄数码相片，使得测量显微镜的应用越来越广。

　　测量显微镜是应用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。

　　测量显微镜工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360°的旋转，亦可以进行高度方向做Z坐标的测量;采用双筒目镜观察。照明系统除作透、反射照明外还可以作斜光线照明。仪器进一步可连接CCD电视摄像头，作工件的轮廓放大;测量显微镜亦可连接计算机进行数据处理等测量与STM类似，在AFM中，使用对微弱力非常敏感的弹性悬臂上的针尖对样品表面作光栅式扫描。当针尖和样品表面的距离非常接近时，针尖的原子与样品表面的原子之间存在极微

　　测量显微镜是光学计量仪器之一种，是指配有瞄准显微镜和坐标工作台的用于二维坐标尺寸测量的光学计量仪器。测量显微镜采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试，是一种理想的多用途的小型精密测量仪器。

　　1、直角坐标中测定长度。

　　2、旋转度盘测定角度。

　　3、用作观察显微镜。

　　4、利用测量显微镜微动载物台的移动，配全目镜的十字座标线，作长度量测。

　　5、利用旋转载物台与目镜下端之游标微分角度盘，配全合目镜之址字座标线，作角度量测，令待测角一端对准十字线与之重合，然再让另一端也重合。

　　6、利用标准检测螺纹的节距、节径、外径、牙角及牙形等尺寸或外形。

　　7、检验金相表面的晶粒状况。

　　8、检验工件加工表面的情况。

　　9、检测微小工件的尺寸或轮廓是否与标准片相符。

　　测量显微镜的安装使用：

　　1、测量显微镜安装和使用：

　　应对周围环境的安全性进行检查，电源、电压、LED光源、接地线等是否正确、牢固，应符和要求。

　　2、测量显微镜主要部件运动性能检查：

　　测量显微镜工作台、纵、横滑板导轨、测微器、显微镜臂架导轨升降，测角度盘转动等部件，经目力观察和手动试验，必须确认结构安装可靠，位置准确，运转性能应舒适完好，无松动阻滞和急跳现象存在。

　　3、测角目镜的检查：

　　①测量显微镜测角目镜零位的检查;

　　②测量显微镜测角目镜十字线交点与其迥转ZX重合性的检查。

　　测量显微镜的操作方法：

　　1、将被测试样放在测量工作台上，尽量放在玻璃ZX位置。 

　　2、转动测量显微镜调焦手轮，至视线清晰为止，用目视判断Z薄点，旋转测量工作台并依靠纵横向的调节，把Z薄点方向原始基准调至与十字线相重合，记录测试标志线所对应的刻度值X1。 

　　3、调节横向手柄，测量工作台沿X线轴向移动，记录另一侧的读数X2，X1